Факторный анализ спектров сечения неупругого рассеяния электронов силицида FeSi

Спектры сечения неупругого рассеяния электронов силицида FeSi рассчитаны из экспериментальных спек- тров характеристических потерь энергии отраженных электронов как зависимости произведения средней длины неупругого пробега и дифференциального сечения неупругого рассеяния электронов от потерь энергии электронов. Для исследования спектров сечения неупругого рассеяния электронов применен факторный анализ. Этот метод позволил разделить вклады поверхностной и объемной природы в спектры, количественно их оценить и определить энергию объемного плазмона более точно по сравнению с традиционным методом спектроскопии потерь энергии отраженных электронов. Спектры сечения неупругого рассеяния электронов (Kλ-спектры) представляют собой произведения сред- ней длины неупругого пробега электронов λ и дифференциального сечения неупругого рассеяния K(E0, E0 - E), где E0 и E - энергии первичных и отраженных электронов, соответственно. Преимущество спектроскопии сечения неупругого рассеяния электронов заключается в том, что, в отличие от спектров характеристиче- ских потерь энергии отраженных электронов, в Kλ-спектрах исключены потери на многократные возбужде- ния, а интенсивности определяются в абсолютных единицах. Эти спектры также более чувствительны к изменению энергии первичных электронов и угла эмиссии. Спектроскопия сечения неупругого рассеяния элек- тронов позволяет определять элементный состав со значительно большей точностью, чем традиционный метод спектроскопии потерь энергии отраженных электронов. В данной работе для исследования спектров сечения неупругого рассеяния электронов силицида FeSi приме- нен факторный анализ. Этот метод позволил решить актуальную задачу разделения спектров на вклады раз- ной природы, количественно их оценить и определить энергии объемного плазмона более точно по сравнению с традиционными методами. Исследование процессов потерь энергии электронов путем выделения из спек- тров сечения неупругого рассеяния вкладов разной природы является одной из актуальных задач электронной спектроскопии, которая может быть использована для оценки влияния поверхностных возбуждений на спек- тры характеристических потерь энергии электронов, рентгеновские фотоэлектронные спектры и Оже- электронные спектры.