Закономерности формирования упорядоченных структур в молибдене при ионной имплантации

Автор: Каздаев Х.Р., Абылкалыкова Р.Б., Квеглис Л.И.

Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии @technologies-sfu

Статья в выпуске: 5 т.5, 2012 года.

Бесплатный доступ

Показано, что характер структурно-фазовых превращений в молибдене при ионной имплантации элементами фазы внедрения определяется в основном по размерному фактору, т. е. отношением атомных размеров внедренных элементов и атомов металла. Исследования проводились на монокристаллах молибдена при имплантации ионами Ar, C, N, O, B, Si, P, S.

Ионная имплантация, структурно-фазовые превращения, кинетические параметры

Короткий адрес: https://sciup.org/146114679

IDR: 146114679

Статья научная