Закономерности образования упорядоченных структур в тугоплавких металлах при ионной имплантации

Автор: Абылкалыкова Р.Б., Квеглис Л.И., Каздаев Х.Р.

Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии @technologies-sfu

Статья в выпуске: 3 т.4, 2011 года.

Бесплатный доступ

Показано, что характер структурно-фазовых превращений в вольфраме и тантале при имплантации их элементами, образующими фазы внедрения, в основном, определяется размерным фактором, который находят отношением атомных радиусов имплантированного элемента к атомному радиусу металла. Исследования проведены на монокристаллических образцах вольфрама и тантала, имплантированных ионами N, O, P.

Ионная имплантация, структурно-фазовые превращения, тугоплавкие металлы, размерный фактор, правило хэгга, плотноупакованные структуры, последующий отжиг, концентрационные профили

Короткий адрес: https://sciup.org/146114586

IDR: 146114586

Статья научная