Закономерности образования упорядоченных структур в тугоплавких металлах при ионной имплантации
Автор: Абылкалыкова Р.Б., Квеглис Л.И., Каздаев Х.Р.
Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии @technologies-sfu
Статья в выпуске: 3 т.4, 2011 года.
Бесплатный доступ
Показано, что характер структурно-фазовых превращений в вольфраме и тантале при имплантации их элементами, образующими фазы внедрения, в основном, определяется размерным фактором, который находят отношением атомных радиусов имплантированного элемента к атомному радиусу металла. Исследования проведены на монокристаллических образцах вольфрама и тантала, имплантированных ионами N, O, P.
Ионная имплантация, структурно-фазовые превращения, тугоплавкие металлы, размерный фактор, правило хэгга, плотноупакованные структуры, последующий отжиг, концентрационные профили
Короткий адрес: https://sciup.org/146114586
IDR: 146114586
