Актуальность прецизионной поверхностной обработки лейкосапфира для его применения в высокотехнологичных изделиях
Автор: Гридин Олег Михайлович, Теплова Татьяна Борисовна, Амосов Владимир Ильич, Бирюков Евгений Николаевич, Соловьев Владимир Владимирович
Журнал: Горные науки и технологии @gornye-nauki-tekhnologii
Статья в выпуске: 8, 2010 года.
Бесплатный доступ
Монокристаллы лейкосапфира, благодаря своим свойствам, находят широкое применение при производстве высокотехнологичных изделий в области нанотехнологий. Для изготовления указанных изделий необходимо прецизионная обработка поверхности с получением нанометрового рельефа. Традиционная обработка представляет собой сложную технологическую схему с финишным полированием в агрессивных средах. Перспективный метод квазипластичной обработки позволяет получать на этапе алмазного шлифования высококачественную поверхность. Monocrystals of the lime sapphire, thanks to the properties, find wide application by manufacture of hi-tech products in the field of nano technologies. For manufacturing of the specified products it is necessary precision processing of a surface with reception nanometers a relief. Traditional processing represents the difficult technological scheme with finishing polishing in excited environments. The perspective method of quasiplastic processing allows to receive a high-quality surface at a stage of diamond grinding.
Лейкосапфир, микроэлектроника, квазипластичная поверхностная обработка, подложки, шероховатость
Короткий адрес: https://sciup.org/140215186
IDR: 140215186
Список литературы Актуальность прецизионной поверхностной обработки лейкосапфира для его применения в высокотехнологичных изделиях
- Теплова Т.Б., Самерханова А.С. Тенденция развития применения твѐрдых высокопрочных материалов в микроэлектронике, медицине и ювелирных изделиях. -М.: ГИАБ, 2006. -№10.
- Малышева Технология производства интегральных микросхем. -М.: Радио и связь, 1991.
- Коньшин А.С., Теплова Т. Б., Соловьев В.В. Особенности микрошлифования кристаллов лейкосапфира на станочном модуле с числовым программным управлением. -М.: ГИАБ. -2005. -№3. -С. 52-56.
- Теплова Т. Б. Перспективы технологии размерно-регулируемого шлифования твердых высокопрочных материалов. -М.: ГИАБ. -2005. -№1. -С. 90-94.
- Коньшин А.С., Сильченко О.Б., Сноу Б.Д. Способ микрошлифования твѐрдоструктурных материалов и устройство для его реализации. Патент РФ №2165837 от 27.04.2001 г.
- Теплова Т.Б., Коньшин А.С., Соловьев В.В., Ашкинази Е.Е. О выборе рациональных режимов процесса микрошлифования монокристалла лейкосапфира. -М.: ГИАБ. -2005. -№9. -С. 76-83.
