Альтернативные подходы при создании мастер-форм для изготовления микрофлюидных чипов методом "мягкой" Литографии
Автор: Посмитная Яна Станиславовна, Букатин А.С., Макаров Д.А., Юдин К.В., Евстрапов А.А.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Приборостроение физико-химической биологии
Статья в выпуске: 2 т.27, 2017 года.
Бесплатный доступ
Особое внимание уделяется совершенствованию методов изготовления микрофлюидных устройств в условиях исследовательских лабораторий. Осуществляются поиски решений для более оперативных и дешевых способов изготовления мастер-форм по сравнению с традиционным методом фотолитографии, не требующих дорогостоящего оборудования и условий чистых помещений. В работе предложены и рассмотрены альтернативные варианты получения мастер-форм из следующих материалов: металлов - с применением методов лазерной обработки; эластомера, клеев-компаундов и эпоксидной смолы - с использованием метода "мягкой" литографии. Обсуждаются достоинства и недостатки этих подходов.
Микрофлюидный чип, мастер-форма, мягкая литография, лазерная обработка, эластомер, клей-компаунд, эпоксидная смола
Короткий адрес: https://sciup.org/14265067
IDR: 14265067 | DOI: 10.18358/np-27-2-i1320
Список литературы Альтернативные подходы при создании мастер-форм для изготовления микрофлюидных чипов методом "мягкой" Литографии
- Zhao X.-M., Xia Y., Whitesides G.M. Soft lithographic methods for nano-fabrication//J. Mater. Chem. 1997. No. 7. P. 1069-1074 DOI: 10.1039/A700145B
- Frienda J., Yeo L. Fabrication of microfluidic devices using polydimethylsiloxane//BIOMICROFLUIDICS. 2010. Vol. 4, no. 2. 026502 DOI: 10.1063/1.3259624
- Abdelgawad M., Watson M.W.L., Young E.W.K., Mudrik J.M., Ungrin M.D., Wheeler A.R. Soft lithography: masters on demand//Lab Chip. 2008. No. 8. P. 1379-1385 DOI: 10.1039/B804050H
- Wang L., Liu W., Li S., Liu T., Yan X., et al. Fast fabrication of microfluidic devices using a low-cost prototyping method//Microsyst Technol. 2016.Vol. 22, no. 4. P. 677-686 DOI: 10.1007/s00542-015-2465-z
- Waheed S., Cabot J.M., Macdonald N.P. et al. 3D printed microfluidic devices: enablers and barriers//Lab Chip. 2016. No. 16. P. 1993-2013 DOI: 10.1039/C6LC00284F
- Pan Y.-J., Yang R.-J. Fabrication of UV epoxy resin masters for the replication of PDMS-based microchips//Biomed Microdevices. 2007. Vol. 9, no. 4. P. 555-563 DOI: 10.1007/s10544-007-9063-5
- Estevez-Torres A., Yamada A., Wang L. An inexpensive and durable epoxy mould for PDMS. URL: http://blogs.rsc.org/chipsandtips/2009/04/22/an-inexpensive-and-durable-epoxy-mould-for-pdms/.
- Zhang J., Tan K.L., Gong H.Q. Characterization of the polymerization of SU-8 photoresist and its applications in micro-electro-mechanical systems (MEMS)//Polymer Testing. 2001. Vol. 20, no. 6. P. 693-701 DOI: 10.1016/S0142-9418(01)00005-8
- Силиконовое масло разбавитель DC 200.pdf. URL: https://lassospb.ru/products/8047921.
- Laser polishing of metals. URL: http://www.ilt.fraunhofer.de/en/media-center/brochures/brochure-laser-polishing-of-metals.html.
- Nüsser C., Sändker H., Willenborg E. Pulsed laser micro polishing of metals using dual-beam technology//Physics Procedia. 2013. Vol. 41. P. 346-355 DOI: 10.1016/j.phpro.2013.03.087
- Nüsser C., Wehrmannb I., Willenborg E. Influence of intensity distribution and pulse duration on laser micro polishing//Physics Procedia. 2011. Vol. 12. P. 462-471 DOI: 10.1016/j.phpro.2011.03.057
- Штрих 013. Установка лазерной гравировки. URL: http://www.sinstr.ru/products/lazernoe/shtrikh-013/.
- Плазменная обработка металла в электролите: как это работает. URL: http://plasmacraft.ru/plazmennaya-obrabotka-metalla-v-elektrolite-kak-eto-rabotaet.
- Полировка металла: виды и способы финишной обработки поверхности металлических изделий. URL: http://plasmacraft.ru/finishnoe-polirovanie.
