Анализ методической погрешности измерений геометрических параметров объектов в рэм методом дефокусировки зонда, обусловленной параметрами зонда
Автор: Альзоба Виктор Валерьевич, Кузин Александр Юрьевич, Ларионов Юрий Васильевич, Раков Александр Васильевич, Тодуа Павел Андреевич, Филиппов Михаил Николаевич
Журнал: Труды Московского физико-технического института @trudy-mipt
Рубрика: Нанотехнология и нанометрия
Статья в выпуске: 1 (17) т.5, 2013 года.
Бесплатный доступ
Проведена оценка методической погрешности измерений геометрических параметров объектов методом дефокусировки электронного зонда РЭМ, обусловленной зависимостью результата измерений от параметров зонда. Показано, что эта погрешность может быть уменьшена путем выбора оптимальных параметров зонда, при которых реальные условия измерений в наилучшей степени соответствуют требованиям расчетной модели. В результате значение методической погрешности снижается до уровня случайной погрешности измерений (5-10 нм).
Растровый электронный микроскоп (рэм), метод дефокусировки
Короткий адрес: https://sciup.org/142185895
IDR: 142185895
Analysis of the probe characteristics-conditioned methodical error of object's geometric parameters measurements in sem by the probe defocusing method
The methodological error of object's geometrical parameters measurement using the SEM electron probe defocusing method is estimated. This error is caused by the dependence of the measurement result on the parameters of the probe. It is shown that this error can be reduced by choosing the optimal parameters of the probe, in which the actual measurement conditions best correspond to the requirements of the theoretical model. As a result, the value of the methodical error is reduced to the level random error of measurements (5-10 nm).
Список литературы Анализ методической погрешности измерений геометрических параметров объектов в рэм методом дефокусировки зонда, обусловленной параметрами зонда
- Li Y.G., Mao S.F., Ding Z.J. Monte-Carlo simulation of SEM and SAM Images//Part 4 in Applications in Monte-Carlo method in Science and Engineering. -2009. -P. 231-296.
- 2. Волк Ч.П., Горнев Е.С., Новиков Ю.А., Плотников Ю.И., Раков А.В., Тодуа П.А. Проблемы измерения геометрических характеристик электронного зонда растрового электронного микроскопа // Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии // Труды ИОФАН: Наука. - 2006. - С. 77-120.
- Fillipov M.N., Novikov Yu.A., Rakov A.V., Todua P.A. SEM probe defocusing method of measurement of linear sizes of nanorelief elements//Proc. of SPIE. -2010. -V. 7521. -N 7521161-9.
- Данилова М.А., Митюхляев В.Б., Новиков Ю.А., Озерин Ю.В., Раков А.В., Тодуа П.А. Тест-объект с шириной линии менее 10 нм для растровой электронной микроскопии//Измерительная техника. -2008. -№ 8. -С. 20-23.
- Novikov Yu.A., Gavrilenko V.P., Rakov A.V., Todua P.A. Test objects with right-angled and trapezoidal profiles of the relief elements//Proc. of SPIE. -2008. -V. 7042, N 704208-1 -704208-12.
