Анализ погрешностей лазерной записи оптических микроструктур на плёнках молибдена

Автор: Полетаев Сергей Дмитриевич, Волотовский Сергей Геннадьевич

Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics

Статья в выпуске: 3 т.40, 2016 года.

Бесплатный доступ

Методом вычислительного эксперимента исследовано влияние технологических погрешностей формирования амплитудных оптических решёток, изготовленных методом лазерной абляции тонких плёнок молибдена, на распределение дифракционных порядков в дальней зоне дифракции. Для этого оцифровывалась профилограмма участка сформированной дифракционной структуры с последующим преобразованием в амплитудную или фазовую функции пропускания.

Дифракционный микрорельеф, амплитудный оптический элемент, лазерная абляция

Короткий адрес: https://sciup.org/14059481

IDR: 14059481 | DOI: 10.18287/2412-6179-2016-40-3-422-426

Список литературы Анализ погрешностей лазерной записи оптических микроструктур на плёнках молибдена

Zoppel, S. Selective ablation of thin Mo and TCO films with femtosecond laser pulses for structuring thin film solar cells/S. Zoppel, H. Huber, G.A. Reider//Applied Physics A. -2007. -Vol. 89(1). -P. 161-163. - DOI: 10.1007/s00339-007-4158-7
Tan, B. High repetition rate femtosecond laser nano-machining of thin films/B. Tan, A. Dalili, K. Venkatakrishnan//Applied Physics A. -2009. -Vol. 95(2). -P. 537-545. - DOI: 10.1007/s00339-008-4938-8
Wang, X.C. 355 nm DPSS UV laser surface texturing on Si substrate/X.C. Wang, L.Y.L. Wu, Q. Shao, H.Y. Zheng//SIMTech technical reports. -2009. -Vol. 10(4). -P. 203-208.
Krause, S. Precise microstructuring of indium-tin oxide thin films on glass by selective femtosecond laser ablation/S. Krause, T. Miclea, F. Steudel, S. Schweizer, G. Seifert//EPJ Photovoltaics. -2013. -Vol. 4. -40601 (5 p.). - DOI: 10.1051/epjpv/2012013
Ihlemann, J. Fabrication of diffractive phase elements for the UV-range by laser ablation patterning of dielectric layers/J. Ihlemann, D. Schafer//Applied Surface Science. -2002. -Vol. 197/198. -P. 856-861. - DOI: 10.1016/S0169-4332(02)00462-2
Heise, G. Laser ablation of thin molybdenum films on transparent substrates at low fluences/G. Heise, M. Englmaier, C. Hellwig, T. Kuznicki, S. Sarrach, H.P. Huber//Applied Physics A: Materials Science & Processing. -2011. -Vol. 102, Issue 1. -P. 173-178. - DOI: 10.1007/s00339-010-5993-5
Bauerle, D. Laser chemical processing: an overview to the 30th anniversary/D. Bauerle//Applied Physics A: Materials Science & Processing. -2010. -Vol. 101, Issue 2. -P. 447-459. - DOI: 10.1007/s00339-010-5837-3
Алфёров, С.В. О возможности управления лазерной абляцией при острой фокусировке фемтосекундного излучения/С.В. Алфёров, С.В. Карпеев, С.Н. Хонина, К.Н. Тукмаков, О.Ю. Моисеев, С.А. Шуляпов, К.А. Иванов, А.Б. Савельев-Трофимов//Квантовая электроника. -2014. -Т. 44, № 11. -С. 1061-1065.
Заярный, Д.А. Наномасштабные процессы кипения при одноимпульсной фемтосекундной лазерной абляции золотых пленок/Д.А. Заярный, А.А. Ионин, С.И. Кудряшов, А.А. Руденко, С.Г. Бежанов, С.А. Урюпин, А.П. Канавин, В.И. Емельянов, С.В. Алферов, С.Н. Хонина, С.В. Карпеев, А.А. Кучмижак, О.Б. Витрик, Ю.Н. Кульчин, С.В. Макаров//Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики. -2015. -Т. 101, № 6. -C. 428-432. - DOI: 10.7868/S0370274X15060077
Волков, А.В. Высокоразрешающая лазерная запись контактных масок на плёнках молибдена для изготовления элементов дифракционной оптики/А.В. Волков, О.Ю. Моисеев, С.Д. Полетаев//Компьютерная оптика. -2013. -Т. 37, № 2. -С. 220-225.
Волков, А.В. Применение тонких плёнок молибдена для контактных масок при изготовлении микрорельефов элементов дифракционной оптики/А.В. Волков, О.Ю. Моисеев, С.Д. Полетаев, И.В. Чистяков//Компьютерная оптика. -2014. -Т. 38, № 4. -С. 757-762.
Волков, А.В. Особенности процесса воздействия лазерного излучения на тонкие плёнки молибдена/А.В. Волков, Н.Л. Казанский, О.Ю. Моисеев, В.Д. Паранин, С.Д. Полетаев, И.В. Чистяков//Журнал технической физики. -2016. -Т. 86, № 4. -С. 101-105.
Poleshchuk, A.G. Polar coordinate laser pattern generator for fabrication of diffractive optical elements with arbitrary structure/A.G. Poleshchuk, E.G. Churin, V.P. Koronkevich, V.P. Korolkov, A.A. Kharissov, V.V. Cherkashin, V.P. Kiryanov, A.V. Kiryanov, S.A. Kokarev, A.G. Verhoglyad//Applied Optics. -1999. -Vol. 38, Issue 8. -P. 1295-1301.
Kazanskiy, N.L. Research & Education Center of Diffractive Optics/N.L. Kazanskiy//Proceedings of SPIE. -2012. -Vol. 8410. -84100R. - DOI: 10.1117/12.923233
Doskolovich, L.L. Software on diffractive optics and computer generated holograms/L.L. Doskolovich, M.A. Golub, N.L. Kazanskiy, A.G. Khramov, V.S. Pavelyev, P.G. Seraphimovich, V.A. Soifer, S.G. Volotovskiy//Proceedings of SPIE. -1995. -Vol. 2363. -P. 278-284. - DOI: 10.1117/12.199645
Хонина, С.Н. Алгоритмы быстрого расчета дифракции радиально-вихревых лазерных полей на микроапертуре/С.Н. Хонина, А.В. Устинов, С.Г. Волотовский, М.А. Ананьин//Известия Самарского научного центра РАН. -2010. -Т. 12, № 4. -С. 15-25
Khonina, S.N. Near-field propagation of vortex beams: models and computation algorithms/S.N. Khonina, A.V. Ustinov, A.A. Kovalyov, S.G. Volotovsky/Optical Memory and Neural Networks (Information Optics). -2014. -Vol. 23, Issue 2. -P. 50-73. - DOI: 10.3103/S1060992X14020027
Казанский, Н.Л. Моделирование работы космического гиперспектрометра, основанного на схеме Оффнера/Н.Л. Казанский, С.И. Харитонов, Л.Л. Досколович, А.В. Павельев//Компьютерная оптика. -2015. -Т. 39, № 1. -C. 70-76. - DOI: 10.18287/0134-2452-2015-39-1-70-76
Карпеев, С.В. Исследование дифракционной решётки на выпуклой поверхности как диспергирующего элемента/С.В. Карпеев, С.Н. Хонина, С.И. Харитонов//Компьютерная оптика. -2015. -Т. 39, № 2. -С. 211-217. - DOI: 10.18287/0134-2452-2015-39-2-211-217

Еще

Статья научная