Анализ погрешностей при цифровой обработке результатов интерферометрического контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей оптических деталей
Автор: Денисов Дмитрий Геннадьевич
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Дифракционная оптика, оптические технологии
Статья в выпуске: 6 т.41, 2017 года.
Бесплатный доступ
Разработан, научно обоснован и экспериментально подтверждён метод динамической интерферометрии контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей оптических деталей от заданного профиля на основе алгоритма расчёта целевой функции - спектральной плотности одномерной корреляционной функции. Представлены теоретические и экспериментальные исследования, посвящённые определению среднего квадратического отклонения локальных отклонений поверхностей оптических деталей диаметром до 100 мм и до 1000 мм, с учётом неисключённой систематической и случайной составляющих погрешностей определения целевой функции.
Оптический контроль, интерферометрия, измерения поверхности, спектральная плотность мощности, методические погрешности, краевой эффект, эффект
Короткий адрес: https://sciup.org/140228676
IDR: 140228676 | DOI: 10.18287/2412-6179-2017-41-6-820-830
Список литературы Анализ погрешностей при цифровой обработке результатов интерферометрического контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей оптических деталей
- Абдулкадыров, М.А. Технология изготовления высокоточных крупногабаритных облегчённых асферических зеркал с высокой стабильностью формы поверхности/М.А. Абдулкадыров, Н.С. Добриков, А.П. Патрикеев, В.Е. Патрикеев, А.П. Семёнов//Оптический журнал. -2014. -Т. 81, № 12. -С. 6-15.
- Абдулкадыров, М.A. Современные способы изготовления астрономических и космических зеркал/М. Абдулкадыров, А. Семёнов//Фотоника. -2015. -№ 3. -С. 62-79.
- Денисов, Д.Г. Разработка методов и аппаратуры лазерного интерференционного контроля формы и качества оптических поверхностей крупногабаритных зеркал на стадиях шлифования: дис.. канд. техн. наук/Денисов Дмитрий Геннадьевич. -МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, 2010.
- Campbell, J.H. NIF optical materials and fabrication technologies: an overview/J.H. Campbell, R.A. Hawley-Fedder, Ch.J. Stolz, J.A. Menapace, M.R. Borden, P.K. Whitman, J. Yu, M.J. Runkel, M.O. Riley, M.D. Feit, R.P. Hackel//Proceedings of SPIE. -2004. -Vol. 5341. - DOI: 10.1117/12.538462
- Denisov, D.G. Method for certification monitoring of surface inhomogeneities of optics based on frequency analysis of the surface profile/D.G. Denisov, N.V. Baryshnikov, Ya.V. Gladysheva, V.E. Karasik, A.B. Morozov, V.E. Patrikeev//Measurement Techniques. -2017. -Vol. 60, Issue 2. -P. 121-127. - DOI: 10.1007/s11018-017-1160-0
- Денисов, Д.Г. Измерение параметров микронеровностей крупногабаритных шлифованных поверхностей оптических деталей при помощи лазерной интерферометрии/Д.Г. Денисов, В.Е. Карасик, В.М. Орлов//Метрология. -2009. -№ 9. -С. 15-24.
- Nikitin, A. A device based on the Shack-Hartmann wave front sensor for testing wide aperture optics/A. Nikitin, J. Sheldakova, A. Kudryashov, G. Borsoni, D. Denisov, V. Karasik, A. Sakharov//Proceedings of SPIE. -2016. -Vol. 9754. -97540K. - DOI: 10.1117/12.2219282
- Nikitin, A. Hartmannometer versus Fizeau interferometer: advantages and drawbacks/A. Nikitin, J. Sheldakova, A. Kudryashov, D. Denisov, V. Karasik, A. Sakharov//Proceedings of SPIE. -2015. -Vol. 9369. -936905. - DOI: 10.1117/12.2085263
- Барышников, Н.В. Метод и аппаратура аттестационного контроля радиусов кривизны сферических поверхностей оптических изделий при помощи датчика волнового фронта/Н.В. Барышников, Д.Г. Денисов, В.Е. Карасик, А.А. Сахаров//V Международная конференция по фотонике и информационной оптике: Сборник научных трудов. -2016. -С. 416-417.
- Полещук, А.Г. Лазерные интерферометры для контроля формы оптических поверхностей/А.Г. Полещук, В.Н. Хомутов, А.Е. Маточкин, Р.К. Насыров, В.В. Черкашин//Фотоника. -2016. -№ 4. -С. 38-51. - DOI: 10.22184/1993-7296.2016.58.4.38.50
- Полещук, А.Г. Методы оперативного контроля характеристик дифракционных оптических элементов в процессе изготовления/А.Г. Полещук, В.П. Корольков, Р.К. Насыров, В.Н. Хомутов, А.С. Конченко//Компьютерная оптика. -2016. -Т. 40, № 6. -С. 818-829. - DOI: 10.18287/2412-6179-2016-40-6-818-829
- Sidick, E. Power spectral density specification and analysis of large optical surfaces/E. Sidick//Proceedings of SPIE. -2009. -Vol. 7390. -73900L. - DOI: 10.1117/12.823844
- Alcock, S.G. Using the power spectral density method to characterise the surface topography of optical surfaces/S.G. Alcock, G.D. Ludbrook, T. Owen, R. Dockree//Proceedings of SPIE. -2010. -Vol. 7801. -780108 (8 p.). - DOI: 10.1117/12.861539
- Методы компьютерной оптики/А.В. Волков, Д.Л. Головашкин, Л.Л. Досколович, Н.Л. Казанский, В.В. Котляр, В.С. Павельев, Р.В. Скиданов, В.А. Сойфер, В.С. Соловьев, Г.В. Успленьев, С.И. Харитонов, С.Н. Хонина; под ред. В.А. Сойфера. -Изд. 2-е, испр. -М.: Физматлит, 2003. -688 с. -ISBN: 5-9221-0434-9.
- ISO 10110-6:2015. Optics and photonics -Preparation of drawings for optical elements and systems -Part 6: Centring tolerances. -2nd Ed. -Vernier, Geneva, Switzerland: ISO, 2015.
