Аспекты повышения электрической прочности устройств с фокусирующими ионно-оптическими системами
Автор: Сторожаков Станислав Юрьевич, Чернявский Алексей Николаевич
Журнал: НБИ технологии @nbi-technologies
Рубрика: Инновации в электронике
Статья в выпуске: 1 (24), 2017 года.
Бесплатный доступ
В статье рассматриваются вопросы повышения электрической прочности различных ионно-оптических систем. Приведен анализ особенностей работы различных ионно-оптических систем, применяемых на практике.
Ионно-оптические системы, устройство, система, электрод, электрическая прочность
Короткий адрес: https://sciup.org/14968447
IDR: 14968447 | DOI: 10.15688/jvolsu10.2017.1.4
Текст научной статьи Аспекты повышения электрической прочности устройств с фокусирующими ионно-оптическими системами
DOI:
В настоящее время в исследованиях по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу широко применяются интенсивные пучки высокоэнергетичных ионов и атомов. Сильноточные пучки ионов и атомов водорода (дейтерия) служат для создания и нагрева плазмы до термоядерных температур в установках с магнитным удержанием плаз-
мы. Инжекторы быстрых частиц для термоядерных установок стали развиваться с началом строительства магнитных ловушек. В 70-е гг. необходимость создания средств безындукционного нагрева плазмы в токамаках послужила стимулом для большого прогресса в развитии инжекторов. Мощность систем инжекции в первых токамаках составляла де- сятки киловатт, в современных системах она достигает десятки мегаватт. В проектах демонстрационных термоядерных реакторов рассматриваются мощности систем инжекции до 100 МВт. Диапазон энергий атомов – от десятков до сотен кэВ, эквивалентные токи пучков – от долей ампера до ста ампер [1].
Для увеличения ресурса работы таких систем применяется упрощение конструкции, изготовления и сборки с одновременным уменьшением экономических затрат. Это достигается тем, что в ионно-оптической системе (далее – ИОС) ионного двигателя, включающей изолированные друг от друга электропроводные полусферические сетчатые эмиссионный и ускоряющий электроды, крепежные элементы и электрические контакторы, эмиссионный и ускоряющий электроды крепятся к двум разным фланцам прижатием их головкой винта через втулку, между фланцами установлены закрытые чехлами со всех сторон керамические изоляторы, при этом фланцы непосредственно соединены с электрическими контакторами, подающими и поддерживающими потенциалы по всей площади прилегания сетчатых электродов к фланцам [2].
Существует ионно-оптическая система, представленная на рисунке 1, состоящая из ис- точника ионов 1, положительной полярности, плазменного электрода 2, ускоряющего электрода 3, который выполнен в виде катушки конусообразной формы, создающей магнитное поле 4, силовые линии которого вытянуты в сторону продольной оси системы. Электроны, идущие из пучковой плазмы 5, образуемой ускоряемыми частицами в области их дрейфа, надежно замагничены и не могут уйти с силовых линий магнитного поля [1; 2; 4].
Это позволяет эффективно защищать поверхности электродов от бомбардировки заряженными частицами. Такой результат достигается тем, что в ИОС ускоряющий электрод выполнен в виде магнитной катушки, создающей конфигурацию магнитных силовых линий, при которой величина радиальной составляющей магнитного поля в каждой точке продольной оси будет минимальной и резко нарастать к периферии.
Существует электростатическая ионнооптическая система, обеспечивающая фокусировку пучка по углу и его монохроматиза-цию на входе в монопольный масс-анализа-тор, представленная на рисунке 2. Используется воронкообразный вытягивающий электрод в энергофильтр в виде цилиндра, в меридиональной плоскости которого расположен

Рис. 1. Ионно-оптическая система с магнитной защитой электродов

Рис. 2. Ионно-оптическая система формирования пучка с фильтрацией по энергии
плоский электрод. Система допускает изменение геометрии пропорционально радиусу апертуры и питания анода [3; 6].
Одним из возможных путей решения задачи является повышение эквипотенциальности области образования ионов. Для предотвращения попадания в блок электродов монопольного анализатора рассеянных электронов существует метод смещения ИОС относительно входной апертуры с помощью отклоняющей системы. Такая система обеспечивает уменьшение разброса по энергии в ионном пучке, что позволяет работать без энергофильтрации. Но все-таки, когда требования к моноэнергетичности пучка выше, необходимо ставить фильтр по энергии.
Для решения задачи создания инжекторов квазистационарного источника водородных ионов с энергией 60 кэВ и током 60 А разработана конструкция ИОС с многощелевыми электродами, в которых в перемычки между щелями встроены медные трубки диаметром 4 мм при толщине стенки 0,8 мм, через которые прокачивается вода. При этом толщина электродов увеличивается до 6 мм, что существенно с точки зрения условий формирования пучка с малым средним углом расходимости на уровне 20 ± 25 мрад (около ± 1,5). Отметим, что прозрачность щелевой ИОС примерно на 30 % больше, чем в ИОС с круглыми отверстиями [3].
При этом, используя программу численного расчета пучков RUDI, можно:
– оптимизировать конфигурацию трехэлектродной щелевой ячейки ИОС стационарного ионного источника для получения оптимальной плотности тока ионов с заданной энергией и приемлемой расходимостью пучка;
– рассчитать потоки вторичных частиц и провести оценки мощности, которая выделяется на электродах [5].
Для формирования диагностического пучка RUDI используется четырехэлектродная ИОС, представленная на рисунке 3.
Система электродов имеет следующее распределение потенциалов: плазменный электрод – 50 кВ; вытягивающий электрод – 43 кВ; ускоряющий электрод – 0,5 кВ; заземленный электрод – 0 кВ. Отрицательное напряжение на третьем электроде предотвращает попадание электронного потока из вторичной плазмы в ускоряющий зазор [5].
В данной ИОС реализован принцип геометрической фокусировки, то есть полный пучок формируется из множества направленных в общую точку фокуса элементарных пучков. Сеточная система RUDI имеет активное водяное охлаждение. Поскольку размещение водяных каналов непосредственно в рабочей области сеток представляет определенные технологические трудности, в данной конструкции каналы системы охлаждения расположены на периферии держателей сеток.
Среди достоинств щелевой геометрии следует отметить ее потенциально более высокую прозрачность, а следовательно, более

Рис. 3. Ионно-оптическая система в сборе (слева показана предыдущая геометрия, справа – геометрия с новыми щелевыми сетками и увеличенной апертурой):
1 – плазменный электрод; 2 – вытягивающий электрод; 3 – ускоряющий электрод; 4 – заземленный электрод
высокие возможные значения тока пучка по сравнению с дырочной геометрией при исходном размере сеток. К проблемам реализации щелевой оптики можно отнести несколько более затрудненный теплоотвод от длинных перемычек между щелями [7; 8].
Существуют нейтронные трубки с ионным источником Пеннинга с термокатодом, выполненные в виде герметичной колбы, состоящей из металлостеклянной оболочки и металлостеклянной или металлокерамической ножки, в которой расположены мишень, ионно-оптическая система, источник ионов и генератор рабочего газа, одновременно служащий и газопоглотителем остаточных газов. Известен ионный источник Пеннинга с термокатодом, содержащий катод с вольфрамовой спиралью, разогреваемой при работе нейтронной трубки до температуры 2 100 °С, антикатод с отверстием для выхода ионов в ИОС трубки, анод, генератор газа и магнит. На анод ионного источника Пен-нинга с термокатодом подают постоянное или импульсное напряжение. Газонаполненная нейтронная трубка с источником Пеннин-га способна при напряжении 120–125 кВ и среднем токе порядка 350 мкА генерировать нейтронные потоки выше 2.109 н/c и обеспечить среднюю наработку порядка 200 часов. Сорбционная емкость термогазопоглотителя 12 зависит от его массы. Наиболее приемлемой для газонаполненной нейтронной трубки, рассчитанной на обеспечение нейтронного потока порядка 2.109 н/с при выделяемой мощности порядка 50 Вт, является масса порядка 100–350 мг.
Некоторые устройства обеспечивают электрическую прочность ИОС и трубки более 140 кВ, генерируют нейтронный поток на уровне 2.1 н/с и сохраняют его при длительной работе (более 200 часов).
Рабочие параметры предлагаемых нейтронных трубок (в сравнении с трубкой, не имеющей термогазопоглотителя) представлены в таблице.
В результате проведенного анализа ионно-оптических систем очевидно, что одним из методов повышения электрической прочности является принцип геометрической фокусировки, то есть полный пучок формируется из множества направленных в общую точку фокуса элементарных пучков, включая источник Пеннинга с термокатодом, а также использование фокусировки ионного пучка и защиты внутренней поверхности колбы от запыления материалами электродов.
Список литературы Аспекты повышения электрической прочности устройств с фокусирующими ионно-оптическими системами
- Беликов, Д. Ю. Электрофизические способы предпосевной обработки семян озимой пшеницы/Д. Ю. Беликов, С. Ю. Сторожаков, А. Н. Чернявский//Электронный научный журнал. -2016. -№ 12-1 (15). -С. 104-110.
- Бочаров, М. Е. Математическая обработка дискретных элементов по исследованию точности измерения концентрации аэроионов/М. Е. Бочаров, С. Ю. Сторожаков, А. А. Шубович//Фундаментальные исследования. -2015. -№ 8-2. -С. 239-242.
- Маркелов, А. Ю. Моделирование формирования пучка в щелевой ячейке ионно-оптической системы стационарного источника ионов/А. Ю. Маркелов, А. А. Панасенков, В. А. Смирнов//Вопросы атомной науки и техники. Серия «Термоядерный синтез». -2013. -№ 1. -С. 58-63.
- Пат. Российская Федерация, H01J3/38. Монтаж, крепление, размещение или изоляция электронно-оптических или ионно-оптических устройств/Жиркин А. С. -Электрон. текстовые дан. -Режим доступа: http://poleznayamodel.ru/model/12/127511. -Загл. с экрана.
- Сторожаков, С. Ю. Исследования по подтверждению точности измерения концентрации аэроионов приборами Сапфир-3М/С. Ю. Сторожаков, А. А. Шубович, А. Н. Чернявский//Фундаментальные исследования. -2016. -№ 4-2. -С. 265-270.
- Сторожаков, С. Ю. Применение компьютерного моделирования в поиске путей утилизации ацетатсодержащих побочных продуктов химических производств/С. Ю. Сторожаков//Электронный научный журнал. -2016. -№ 2 (5). -С. 474-478.
- Сторожаков, С. Ю. Проблемы развития АПК России/С. Ю. Сторожаков//Электронный научный журнал. -2016. -№ 2 (5). -С. 469-473.
- Сторожаков, С. Ю. Численная обработка результатов измерений концентрации ионов в воздухе/С. Ю. Сторожаков, А. А. Шубович, Н. А. Куликова//Современные наукоемкие технологии. -2016. -№ 10-1. -С. 92-96.
- Шубович, А. А. Применение ионизаторов воздуха на рабочем месте/А. А. Шубович, С. Ю. Сторожаков//Электротехнологии, оптические излучения и электрооборудование в АПК: материалы Междунар. науч.-практ. конф., посвящ. памяти ведущего электротехнолога России акад. Ивана Федоровича Бородина. -Волгоград, 2016. -С. 66-71.