Automatic device for measuring resistivity of silicon four-point probe method

Автор: Vladimirov V.M., Grinin E.F., Sergiy M.E., Shepov V.N.

Журнал: Сибирский аэрокосмический журнал @vestnik-sibsau

Рубрика: Математика, механика, информатика

Статья в выпуске: 4 (25), 2009 года.

Бесплатный доступ

An automatic device for measuring the resistivity of single-crystalline silicon by means of the four-point probe method had been developed.

Single-crystalline silicon, resistivity, four-point probe method, automatic device

Короткий адрес: https://sciup.org/148176048

IDR: 148176048

Краткое сообщение