Автоматизированный измеритель удельного электросопротивления монокристаллического кремния четырехзондовым методом
Автор: Владимиров В.М., Гринин Э.Ф., Сергий М.Е., Шепов В.Н.
Журнал: Сибирский аэрокосмический журнал @vestnik-sibsau
Рубрика: Математика, механика, информатика
Статья в выпуске: 4 (25), 2009 года.
Бесплатный доступ
Разработан автоматизированный измеритель удельного электросопротивления монокристаллического кремния четырехзондовым методом.
Автоматизированный измеритель, монокристаллический кремний, удельное электросопротивление, четырехзондовый метод
Короткий адрес: https://sciup.org/148176048
IDR: 148176048
Краткое сообщение
