Брэгговские отражения многослойной дифракционной решетки
Автор: Карпов А.В.
Журнал: Известия Коми научного центра УрО РАН @izvestia-komisc
Рубрика: Научные статьи
Статья в выпуске: 4 (62), 2023 года.
Бесплатный доступ
Исследовано обратное пространство многослойной дифракционной решетки в некомпланарной геометрии дифракции. Выписаны прямые и обратные соотношения между углами волновых векторов и координатами обратного пространства. Записаны углы брэгговского и дифракционного отражений. На примере продемонстрированы конусы дифракции и карты обратного пространства.
Многослойная дифракционная решетка, условие вульфа- брэгга, конус дифракции, карты обратного пространства
Короткий адрес: https://sciup.org/149143133
IDR: 149143133 | DOI: 10.19110/1994-5655-2023-4-91-95
Список литературы Брэгговские отражения многослойной дифракционной решетки
- Sammar, A. Diffraction of multilayer gratings and zone plates in the X-ray region using the Born approximation / Sammar, J.-M. André // J. of the Optical Society of America A-optics Image Science and Vision. - 1993. - Vol. 10. - P. 600-613.
- Yang, X. Design of a multilayer-based collimated planegrating monochromator for tender X-ray range / X. Yang, H. Wang, M. Hand, K. Sawhney, B. Kaulich [et al.] // J. of Synchrotron Radiation. - 2017. - Vol. 24, № 1. - P. 168-174.
- Yefanov, O. Accessible reciprocal-space region for noncoplanar Bragg and Laue geometries / O. Yefanov // J. of Applied Crystallography. - 2008. - Vol. 41. - P. 110-114.
- Mikulík, P. Coplanar and non-coplanar X-ray reflectivity characterization of lateral W/Si multilayer gratings / P. Mikulík, M. Jergel, T. Baumbach, E. Majková, E. Pinčík [et al.] // J. of Physics D: Applied Physics. - 2001. - Vol. 34. - P. A188-A192.
- Rueda, D. Grazing-incidence small-angle X-ray scattering of soft and hard nanofabricated gratings / D. Rueda, Martín-Fabiani, M. Soccio, N. Alayo, F. Pérez-Murano [et al.] // J. of Applied Crystallography. - 2012. - V. 45. - P. 1038-1045.
- Wernecke, J. Direct structural characterisation of line gratings with grazing incidence small-angle X-ray scattering / J. Wernecke, F. Scholze, M. Krumrey // Review of Scientific Instruments. - 2012. - Vol. 83, № 10, - 103906.
- Suh, H.S. Characterization of the shape and line-edge roughness of polymer gratings with grazing incidence small-angle X-ray scattering and atomic force microscopy / H.S. Suh, X. Chen, P.A. Rincon-Delgadillo, Z. Jiang, J. Strzalka [et al.] // J. of Applied Crystallography. 2016. - Vol. 49, № 3. - P. 823-834.
- Pflüger, M. Grazing incidence small angle X-Ray scattering (GISAXS) on small targets using large beams / M. Pflüger, V. Soltwisch, J. Probst, F. Scholze, M. Krumrey // IUCrJ. - 2017. - Vol. 4. - P. 431-438.
- Soltwisch, V. Reconstructing detailed line profiles of lamellar gratings from GISAXS patterns with a Maxwell solver / V. Soltwisch, A. Fernández Herrero, M. Pflüger, Haase, J. Probst [et al.] // J. of Applied Crystallography 2017. - Vol. 50, № 5. - P. 1524-1532.
Статья научная
