Брэгговские отражения многослойной дифракционной решетки
Автор: Карпов А.В.
Журнал: Известия Коми научного центра УрО РАН @izvestia-komisc
Рубрика: Научные статьи
Статья в выпуске: 4 (62), 2023 года.
Бесплатный доступ
Исследовано обратное пространство многослойной дифракционной решетки в некомпланарной геометрии дифракции. Выписаны прямые и обратные соотношения между углами волновых векторов и координатами обратного пространства. Записаны углы брэгговского и дифракционного отражений. На примере продемонстрированы конусы дифракции и карты обратного пространства.
Многослойная дифракционная решетка, условие вульфа- брэгга, конус дифракции, карты обратного пространства
Короткий адрес: https://sciup.org/149143133
IDR: 149143133 | УДК: 548.732 | DOI: 10.19110/1994-5655-2023-4-91-95
Bragg’s reflections of a multilayer grating
The reciprocal space of multilayer grating in the non-coplanar geometry of diffraction is investigated. Direct and inverse relations between the angles of wave vectors and coordinates of reciprocal space are written out. The Bragg’s and diffraction reflection angles are written. By example, cones of diffraction and reciprocal space mapping are demonstrated.
Список литературы Брэгговские отражения многослойной дифракционной решетки
- Sammar, A. Diffraction of multilayer gratings and zone plates in the X-ray region using the Born approximation / Sammar, J.-M. André // J. of the Optical Society of America A-optics Image Science and Vision. - 1993. - Vol. 10. - P. 600-613.
- Yang, X. Design of a multilayer-based collimated planegrating monochromator for tender X-ray range / X. Yang, H. Wang, M. Hand, K. Sawhney, B. Kaulich [et al.] // J. of Synchrotron Radiation. - 2017. - Vol. 24, № 1. - P. 168-174.
- Yefanov, O. Accessible reciprocal-space region for noncoplanar Bragg and Laue geometries / O. Yefanov // J. of Applied Crystallography. - 2008. - Vol. 41. - P. 110-114.
- Mikulík, P. Coplanar and non-coplanar X-ray reflectivity characterization of lateral W/Si multilayer gratings / P. Mikulík, M. Jergel, T. Baumbach, E. Majková, E. Pinčík [et al.] // J. of Physics D: Applied Physics. - 2001. - Vol. 34. - P. A188-A192.
- Rueda, D. Grazing-incidence small-angle X-ray scattering of soft and hard nanofabricated gratings / D. Rueda, Martín-Fabiani, M. Soccio, N. Alayo, F. Pérez-Murano [et al.] // J. of Applied Crystallography. - 2012. - V. 45. - P. 1038-1045.
- Wernecke, J. Direct structural characterisation of line gratings with grazing incidence small-angle X-ray scattering / J. Wernecke, F. Scholze, M. Krumrey // Review of Scientific Instruments. - 2012. - Vol. 83, № 10, - 103906.
- Suh, H.S. Characterization of the shape and line-edge roughness of polymer gratings with grazing incidence small-angle X-ray scattering and atomic force microscopy / H.S. Suh, X. Chen, P.A. Rincon-Delgadillo, Z. Jiang, J. Strzalka [et al.] // J. of Applied Crystallography. 2016. - Vol. 49, № 3. - P. 823-834.
- Pflüger, M. Grazing incidence small angle X-Ray scattering (GISAXS) on small targets using large beams / M. Pflüger, V. Soltwisch, J. Probst, F. Scholze, M. Krumrey // IUCrJ. - 2017. - Vol. 4. - P. 431-438.
- Soltwisch, V. Reconstructing detailed line profiles of lamellar gratings from GISAXS patterns with a Maxwell solver / V. Soltwisch, A. Fernández Herrero, M. Pflüger, Haase, J. Probst [et al.] // J. of Applied Crystallography 2017. - Vol. 50, № 5. - P. 1524-1532.
