Разработка и применение компонентов МЭМС
Автор: Левицкий А.А., Маринушкин П.С.
Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии @technologies-sfu
Статья в выпуске: 3 т.8, 2015 года.
Бесплатный доступ
Представлены результаты исследований, связанных с созданием компонентов микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассмотрены конструктивные варианты и технологии изготовления компонентов МЭМС на базе кремниевых микроструктур. Обсуждаются результаты исследований экспериментальных образцов. Рассмотрены пути дальнейшего развития исследований по созданию перспективных компонентов МЭМС.
Микроэлектромеханические системы (мэмс), микроэлектромеханические резонаторы, пешеходная навигация, scream-технология, микрогироскопы, навигация
Короткий адрес: https://sciup.org/146114953
IDR: 146114953
