Двухкоординатный лазерный дефектоскоп с компьютерным управлением

Рассмотрена методика измерения толщины и контроля качества полупроводниковых пленок (пластин) толщиной 0.1-40 мкм конечного размера или рулонного типа на базе двухкоординатного лазерного дефектоскопа, включающего: персональный компьютер (ПК) типа "Pentium III"; инфракрасную лазерную оптическую головку типа CD-RW с длиной волны излучения λ = 0.98 мкм, сканирующую по координате X; подвижный по координате Y столик с исследуемым образцом пленки (пластины) и фотодетектором; устройство управления; усилитель фототоков; аналого-цифровой преобразователь;. интерфейсы RS-232, соединенные с последовательными портами ПК. Технические средства и методика контроля лазерного дефектоскопа обеспечивают: измерение толщины и контроль качества полупроводниковых пленок габаритов от (10x10) мкм до (100x100 ) мм толщиной 0.1-40 мкм с дискретностью 0.1 мкм. диапазон шагов сканирования по Х, Y координатам 2-100 мкм; диапазон диаметров лазерного луча 1.7-50 мкм; скорость сканирования по Х, Y координатам не менее 100 мм/с; чувствительность по току 1·10^-8А, по напряжению - 2.5·10^-6 В. Реализованы запись электронных диаграмм пленок (пластин) конечного размера или кадров с пленок рулонного типа на жесткий диск ПК, вывод на монитор и документирование дефектов на принтере цветной печати, количество цветовых градаций 32. Разрешение контролируемых дефектов образца не хуже 0.5 мкм, погрешность измерения толщины пленок не более 2 %. Программное обеспечение на языке Delphi 7.0.