Двухпараметровый датчик комбинированного типа на основе sms (краткое сообщение)

Иванов Василий Алексеевич Каминский Владимир Васильевич Степанов Николай Николаевич

Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie

Рубрика: Приборы и системы

Статья в выпуске: 4 т.24, 2014 года.

Бесплатный доступ

Дано описание разработанного авторами двухпараметрового датчика давления и температуры на основе тонкопленочного барорезистора из сульфида самария на стеклянной подложке и термопары хромель-алюмель. Датчик работоспособен при температурах в интервале (-60, +40) °С и давлениях до 70 МПа, имеет быстродействие 0.1 с, область локализации измерений объемной деформации ~1 мм 3, устойчив в бетоне в течение более 3 лет. Датчик предназначен для измерений во влажных дисперсных средах (бетон, грунт и др.). Для иллюстрации возможностей датчика проведены измерения в застывающем бетонном тесте и грунте (-50, +20) °С.

барорезисторы \ моносульфид самария \ датчики давления и температуры

Похожие статьи в разделе Общая механика. Механика твердых и жидких тел

Особенности применения полупроводниковых тензо- и барорезисторов на основе сульфида самария
Особенности применения полупроводниковых тензо- и барорезисторов на основе сульфида самария

Каминский В.В., Молодых А.А., Степанов Николай Николаевич, Соловьев С.М., Володин Н.М., Иванов В.А.

Тестовые испытания полупроводниковых тензорезисторов на основе тонких пленок SmS
Тестовые испытания полупроводниковых тензорезисторов на основе тонких пленок SmS

Степанов Николай Николаевич, Каминский В.В., Молодых А.А.

Короткий адрес: https://sciup.org/14264956

IDS: 14264956   |   УДК: 531.7.681.3

The sms based two-parameter sensor of a combined type (short message)

The description of a two-parameter sensor, which is able to measure pressure and temperature was presented. This sensor was developed by the authors of the paper based on thin-film baroresistor made of samarium monosulfide placed on a glass substrate and асhromel-alumel thermocouple. The sensor operates at temperatures of (-60)÷(+40) °С and pressures up to 70 MPa, has a speed of 0.1 s, has the area of volumetric strain measurements localization ~ 1 mm 3, is stable while being placed in concrete for more than 3 years. The sensor is designed for measurements in wet particulate media (concrete, soil, etc.). The measurements in the stiffening concrete and ground at the temperature range of (+ 20)÷(-50) °С were conducted to illustrate the capability of the sensor.

Текст краткого сообщения Двухпараметровый датчик комбинированного типа на основе sms (краткое сообщение)

Дано описание разработанного авторами двухпараметрового датчика давления и температуры на основе тонкопленочного барорезистора из сульфида самария на стеклянной подложке и термопары хромель— алюмель. Датчик работоспособен при температурах в интервале (–60, +40) °С и давлениях до 70 МПа, имеет быстродействие 0.1 с, область локализации измерений объемной деформации ~1 мм3, устойчив в бетоне в течение более 3 лет. Датчик предназначен для измерений во влажных дисперсных средах (бетон, грунт и др.). Для иллюстрации возможностей датчика проведены измерения в застывающем бетонном тесте и грунте (–50, +20) °С.

Кл. сл. : барорезисторы, моносульфид самария, датчики давления и температуры

Комбинированными можно назвать датчики, включающие в себя два и более разнородных чувствительных элемента. Представленный в настоящей работе датчик локальных объемных напряжений в бетоне или грунте, возникающих в условиях быстроменяющихся температур, выполнен на основе тонкопленочного барорезистора с чувствительным слоем из SmS и термопары [1, 2]. Высокая степень линейности зависимостей логарифма электросопротивления R от температуры Т и давления Р позволяет связать Р, Т и R барорезистора соотношением lnR = lnR0+ Пg ·P + α·T,           (1)

где R 0 — начальное электросопротивление датчика, П g и α — соответственно барический и температурный коэффициенты сопротивления. Из уравнения (1) можно получить следующее соотношение:

Р = А 0 + А ln R + A 2 · T ,              (2)

где А 0 = –(ln R 0 ) / П g ; А 1 = ( П g )–1; A 2 = – α / П g .

Рис. 1. Структурная схема измерительного устройства с двухпара-метровым датчиком давления и температуры. Обозначения в тексте

С хорошей точностью значение температуры можно связать с выходным сигналом термопары ( U ) полиномом, аппроксимирующим номинальную статистическую характеристику (НСХ) преобразования хромель-алюмелевой (ХА) термопары [5]:

T = 2 C i- U . (3)

I = 0

Коэффициенты полинома, а также значения R 0, П g и α барорезистора с предварительной их градуировкой хранятся в памяти компьютера. Нахождение Р и Т по измеренным U и R осуществляется с помощью выражений (2) и (3). Структурная схема измерительного устройства приведена на рис. 1. Выход датчика 1 через переключатель 2 связан со входом мостовой измерительной схемы 3, выходной сигнал которой через аналого-цифровой преобразователь (АЦП) 4 поступает в память компьютера 5. Результаты вычисления физических величин Р и Т выводятся на блок индикации 6. Питание измерительной схемы обеспечивается блоком 7, а блок 8 управляет работой измерительного устройства в целом.

Применение барорезистора на основе SmS в датчике локальных объемных напряжений в бетоне оправдано не столько линейностью логарифмов его характеристик, сколько стабильностью параметров этого материала в бетоне. Известны различные датчики напряженного состояния в бетоне на основе металлических тензорезисторов (см., например, [3]). Однако такие тензорезисторы не долговечны при нахождении в бетоне и поэтому не позволяют стабильно производить измерения без специальных устройств, защищающих тензорезисторы от непосредственного соприкосновения с бетоном. При помощи таких устройств не представляется также возможным измерять объемные деформации в бетоне в малых областях порядка 1 мм3. Не удается проводить подобные измерения и с помощью датчиков других типов, например магнитострикционных [4], вследствие их большого размера (не менее 10 см3). В то же время необходимость в таких измерениях имеется, в частности, для диагностики поведения бетонных изделий, изготавливающихся и работающих в условиях отрицательных температур. Одна из основных проблем здесь состоит в определении наиболее низких температур и некоторых других условий, при которых возможно бетонирование. Критерием в этом случае может служить поведение локальных объемных напряжений при понижении температуры. Кроме того, для практики необходимы датчики, постоянно установленные в бетонных конструкциях, с помощью которых может осуществляться постоянный мониторинг их надежности при эксплуатации.

Важное значение имеет использование в качестве подложки пленочного барорезистора силикатного стекла [1]. Малая жесткость датчиков вследствие небольшого модуля упругости стекла и их мало отличающийся от бетона коэффициент линейного расширения не вносят существенных искажений в поле напряжений бетонных конструкций. Кроме того, привлекает доступность и дешевизна выпускаемых промышленностью тонких (~100 мкм) стекол. Главным же является обнаруженная нами стабильность поведения моносульфида самария на стекле в бетоне. На рис. 2 из [1] представлен график временнóй зависимости электросопротивления барорезистора. Измерения проводились в течение трех лет. Слабая зависимость электросопротивления датчика от времени позволила избежать применения для них каких-либо защитных покрытий.

Рис. 2. Временнáя стабильность электросопротивления тонкопленочного барорезистора на основе SmS на стеклянной подложке в бетоне с s

T , °C

Рис. 3. Зависимости локальных объемных напряжений от температуры в затвердевающем бетоне (точки 1) и замораживаемом грунте (квадраты 2), полученные с помощью двухпараметрового датчика комбинированного типа с барорезистором из SmS

Конструктивно датчик представляет собой подложку из силикатного стекла с размерами 1.5×1.0×0.1 мм, на которую нанесен чувствительный слой состава Sm 0.995 Gd 0.005 S и контактные площадки из константана. На одну из контактных площадок напаяна ХА-термопара. Сопротивление резистора 200 ± 5 Ом, П g = (1.00 ± 0.01)·10–3 МПа–1, α = (1.10 ± 0.01)·10–3 К–1. Такие датчики позволяют проводить измерения объемных напряжений до 70 МПа, с точностью до 2 % при температурах от –60 до +40 °С в областях размером ~1 мм3.

Датчик работает совместно с компьютерноизмерительной системой "Аксамит-6.25". Барорезистор и термопара подключаются по схемам для подключения резистивных датчиков и термопар согласно описанию системы. Быстродействие датчика определяется быстродействием измерительной системы и составляет 0.1 с. Других датчиков, позволяющих проводить аналогичные измерения, в настоящее время не существует.

Для иллюстрации возможностей датчиков на рис. 3 приведены полученные с их помощью зависимости локальных объемных напряжений от температуры в затвердевающем бетоне и замораживаемом грунте. Барорезисторы калибровались с помощью задатчика давления МЦ-600 в интервале давлений от атмосферного до 60 МПа при температурах +20 °С и –50 °С и с помощью газовой камеры до давлений 15 МПа при Т = –50 °С.

Тарирование термопар и барорезисторов по температуре, а также эксперименты по определению объемных напряжений проводились при естественно низких температурах в климатической камере фирмы "Фойтрон" типа 3101-01 в диапазоне температур (+20, –50) °С. В этих диапазонах Р и T параметры П g и α сохраняли указанные выше значения. Датчики показали свою работоспособность во влажных дисперсных средах, таких как бетон или грунт в указанном температурном интервале. Кривая 1 на рис. 3 снята в бетонном тесте (цемент, песок, вода в весовом соотношении 1 : 1.09 : 0.35 соответственно), кривая 2 — в грунте (песок и вода в соотношении 2.08 : 0.35). Охлаждение происходило в течение ~ 2 ч. Кривые такого типа удалось получить впервые. Никакими другими средствами это сделать невозможно. Из анализа кривых 1, 2 на рис. 3 следует принципиальное отличие поведения бетонного теста и грунта. Это является следствием мелкодисперсности цемента. В связанной воде замерзание происходит постепенно в различных порах разного размера при различных температурах. Рисунок позволяет сделать вывод, что бетонирование может производиться при Т ≥ –10 °С, т. к. до таких температур вода в бетонном тесте находится в жидкой фазе.

Датчики применялись в Институте физикотехнических проблем Севера СО РАН для диагностики поведения бетонных изделий, работающих в условиях Крайнего Севера и зоны вечной мерзлоты.