Формирование лазерных пучков со структурированным распределением поляризации для создания спиральных микрорельефов в тонких плёнках халькогенидных стекол
Автор: Порфирьев А.П., Хонина С.Н., Ивлиев Н.А., Порфирьев Д.П.
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Дифракционная оптика, оптические технологии
Статья в выпуске: 5 т.48, 2024 года.
Бесплатный доступ
В работе предложен основанный на проекционной литографии метод обработки тонких плёнок халькогенидных стёкол лазерными пучками со структурированным распределением поляризации для формирования спиралевидных микрорельефов. Для управления поляризацией исходного пучка использован пространственный модулятор света HOLOEYE LC 2012. Показано, что изменение контраста изображений масок, выводимых на дисплей модулятора, влияет на выпуклость/вогнутость формируемых профилей. Такой подход может быть эффективно использован для прямой лазерной записи более сложных нано-/микроэлементов, а также их массивов.
Поляризация, пространственный модулятор света, спиральный микрорельеф, халькогенидные стекла, лазерная обработка.
Короткий адрес: https://sciup.org/140310364
IDR: 140310364 | DOI: 10.18287/2412-6179-CO-1501
