Формирование микрорельефа дифракционных оптических элементов с использованием достижений микроэлектроники

Анализируется возможность формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов (ДОЭ) с использованием микроэлектронной технологии. Оцениваются предельно допустимые отклонения параметров микрорельефа ДОЭ исходя из технологических погрешностей, определяющих минимальные размеры пассивных элементов в микроэлектронике. Приводятся результаты численного эксперимента по оценке влияния технологических ошибок формирования микрорельефа на параметры ДОЭ.