Формирование пленок в разряде в скрещенных полях
Автор: Сасин Антон Владимирович
Журнал: Ученые записки Петрозаводского государственного университета @uchzap-petrsu
Рубрика: Физико-математические науки
Статья в выпуске: 8 (113), 2010 года.
Бесплатный доступ
Плазма, скрещенные поля, тонкие пленки
Короткий адрес: https://sciup.org/14749804
IDR: 14749804
Список литературы Формирование пленок в разряде в скрещенных полях
- Бурманский И. Ю., Рогов А. В. Влияние резонансной перезарядки ионов аргона на эффективную скорость распыления в аргоне//ЖТФ. 2004. Т. 74. Вып. 1. С. 120-122.
- Вагнер С. Д., Игнатьев Б. К., Калининская Т. В., Платонов А. А., Ковалевский В. В. Формирование алмазоподобных пленок в разряде в скрещенных полях: Материалы Всероссийской науч. конф. по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-2004. Петрозаводск: Изд-во ПетрГУ, 2004. Т. 1. С. 186-191.
- Гиршфельдер Дж., Кертисс Ч., Берд Р. Молекулярная теория газов и жидкостей. М.: Иностранная литература, 1961. 931 c.
- Знаменский А. Г., Марченко В. А. Магнетронное напыление при повышенных давлениях: процессы в газовой среде//ЖТФ. 1998. Т. 68. Вып. 7. С. 24-32.
- Плесков Ю. В. Электрохимия алмаза/Российская академия наук, Ин-т электрохимии им. А. М. Фрумкина. М.: Едиториал УРСС, 2003. 101 с.
- Райзер Ю. П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1992. 536 с.
- Серов И. Н., Бельская Г. Н., Кощеев С. В., Марголин В. И., Мошников В. А., Чеснокова Д. Б. Исследование возможности получения наноразмерных структурированных пленок//Сб. докл. 15-го Междунар. симпозиума «Тонкие пленки в оптике и электронике». Харьков: НИЦ ХФТИ «Константа», 2003. С. 14-18.
- Stephen M. Rossnagel Sputtered Atom Transport Processes//IEEE Transactions on plasma science. 1990. Vol. 18. № 6. Р. 878-882.
Статья
