Информационные технологии в наноэлектронике
Автор: Тарнавский , Анищик , Жибинов
Журнал: Проблемы информатики @problem-info
Рубрика: Элементная база и сети систем информатики
Статья в выпуске: 1 (1), 2008 года.
Бесплатный доступ
Короткий адрес: https://sciup.org/14319967
IDR: 14319967
Список литературы Информационные технологии в наноэлектронике
- All about MEMS. Интернет-сайт http://allaboutmems. com/
- Яшин К.Д., Осипович В.С., Божко Т.Г. Разработка МЭМС//Нано-и микросистемная техника. 2008. №1. C.28-34.
- Алферов Ж.И. История и будущее полупроводниковых гетероструктур//Физика и техника полупроводников. 1998. Т.32, №1. С.3-18.
- Асеев А.Л. Наноматериалы и нанотехнологии для современной полупроводниковой электроники//Российские нанотехнологии. 2006. №1. С.97-110.
- Асеев А.Л., Попов В.П., Володин В.П., Марютин В.Н. Перспективы применения структур «кремний-на-изоляторе» в микро-, наноэлектронике и микросистемной технике//Микросистемная техника. 2002. №9. С.3-17.
- Адамов Д.Ю., Матвеенко О.С. Усовершенствование структур МОП-транзис-торов в нанометровых технологиях//Нано-и микросистемная техника. 2008. №2. C.53-63.
- Пахомов С.А. Производство микропроцессоров Intel//Компьютер Пресс. 2002. №4. С.33-35.
- Deal B.E., Grove A.S. General relationship for the thermal oxidation of silicon//Appl. Phys. 1965. V.36. P.37-70.
- Тарнавский Г.А., Алиев А.В., Тарнавский А.Г. Создание специальных наноструктур донорных и акцепторных примесей в базовой подложке кремния для конструирования новых полупроводниковых материалов//Нано-и микросистемная техника. 2007. №9. C.2-7.
- Тарнавский Г.А., Анищик В.С., Тарнавский А.Г. Влияние защитных масок при отжиге кремниевой пластины на формирование наноразмерных гетероструктур легирующих примесей фосфора//Нано-и микросистемная техника. 2008. №3. C.58-65.
- Тягунов О.А. Программный комплекс для моделирования и исследования динамических характеристик микро-и наномеханических элементов и систем//Нано-и микросистемная техника. 2008. №3. C.19-25.
- Sentaurus. Приборно-технологичес-кое моделирование. Система автоматического проектирования ISE TCAD Sentaurus//Интернет-сайт http://www.synopsys.com/products/tcad.html (рус.: http://www.isen.ru/ise/prod.html).
- IntelliSuite: Industry leading MEMS design tools. Интернет-сайт http://www.intellisuite.com/
- CoventorWare: The leader in 3D MEMS & semiconductor software. Интернет-сайты http://www.coventor.com/и http://www.cmf.rl.ac.uk/cad/memcad.html
- MEMS Pro Suite (MEMSCAP): The power of a small world. Интернет-сайт http://www.memscap.com/
- Tsuprem-4: Semiconductor process simulation software. Интернет-сайт http://www.synopsys.com/products/tcad/taurus_tsuprem4_ds.html
- MicroTec: Software Package for Two-Dimensional Process and Device Simulation. Интернет-сайт http://www.siborg.ca/
- Мустафаев Ар.Г., Мустафаев Аб.Г. Проблемы масштабирования затворного диэлектрика для МОП-технологий//Нано-и микросистемная техника. 2008. №4. C.17-22.
- Телец В., Алфимов С., Иванов А., Митин Ю., Борисов А., Истомин Е. Прикладные аспекты нанотехнологий//Наноиндустрия. 2007. №4. С.4-11.
- Ковальчук М.В. Нанотехнологии -фундамент новой наукоемкой экономики 21 века//Российские нанотехнологии. 2007. №1-2. С.6-11.
Статья
