Использование атомно-силовой микроскопии для оценки качества очистки и трибометрических свойств поверхности кремниевых пластин
Автор: Михеев Игорь Дмитриевич, Вахитов Фаат Хасанович
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Короткие сообщения
Статья в выпуске: 3 т.43, 2019 года.
Бесплатный доступ
Экспериментально исследованы различия в величинах адгезионных сил взаимодействия острия зонда атомно-силового микроскопа и очищенных поверхностей кремниевых пластин при их обработке изопропиловым спиртом и дистиллированной водой. Показано, что наличие на поверхности подложек молекул воды приводит к значительному (приблизительно в 5 раз) изменению этих сил. Установлено, что использование атомно-силового микроскопа позволяет оценивать относительную величину сил трения на малых участках поверхностей кремниевых пластин.
Атомно-силовая микроскопия, кремниевые пластины, трибометрические свойства
Короткий адрес: https://sciup.org/140246479
IDR: 140246479 | DOI: 10.18287/2412-6179-2019-43-3-507-511
Список литературы Использование атомно-силовой микроскопии для оценки качества очистки и трибометрических свойств поверхности кремниевых пластин
- Borodin, S.A. Device for analyzing nanoroughness and contamination on a substrate from the dynamic state of a liquid drop deposited on its surface/S.A. Borodin, A.V. Volkov, N.L. Kazanskii//Journal of Optical Technology. -2009. -Vol. 76, Issue 7. -P. 408-412. - DOI: 10.1364/JOT.76.000408
- Ivliev, N.A. Determination of concentration of organic contaminants on a silicon dioxide surface by tribornetry/N.A. Ivliev, V.A. Kolpakov, S.V. Krichevskii, N.L. Kazanskiy//Measurement Techniques. -2017. -Vol. 60, Issue 9. -P. 869-873.
- Tong, Q.-Y. Wafer bonding and layer splitting for microsystems/Q.-Y. Tong, U. Gosele//Advanced Materials. -1999. -Vol. 11, Issue 17. -P. 1409-1425.
- Kolpakov, V.A. Measuring the surface purity of substrates by the tribometry method/V.A. Kolpakov, N.A. Ivliev//Instruments and Experimental Techniques. -2014. -Vol. 57, Issue 5. -P. 640-645. - DOI: 10.1134/S0020441214040174
- Бухараев, А.А. Диагностика поверхности с помощью сканирующей силовой микроскопии (обзор)/А.А. Бухараев, Д.В. Овчинников, А.А. Бухараева//Заводская лаборатория. -1997. -№ 5. -С. 10-27.
- Liu, Y. Lateral force microscopy study on the shear properties of self-assembled monolayers of dialkylammonium surfactant on mica/Y. Liu, T. Wu, D.F. Evans//Langmuir. -1994. -Vol. 10, Issue 7. -P. 2241-2245.
- Guo, Y.B. Adhesion and friction of nanoparticles/polyelectrolyte multilayer films by AFM and micro-tribometer/Y.B. Guo, D.G. Wang, S.W. Zhang//Tribology International. -2011. -Vol. 44, Issues 7-8. -P. 906-917.
- Ивлиев, Н.А. Определение концентрации органических загрязнений на поверхности диоксида кремния методами атомно-силовой микроскопии/Н.А. Ивлиев, В.А. Колпаков, С.В. Кричевский//Компьютерная оптика. -2016. -Т. 40, № 6. -С. 837-843. - DOI: 10.18287/2412-6179-2016-40-6-837-843
- Прокопьев, Е.П. Особенности технологии изготовления КНИ структур прямым сращиванием пластин кремния и контроля их качества/Е.П. Прокопьев, С.П. Тимошенков, А.Л. Суворов . -Препринт института теоретической и экспериментальной физики 24-00. -М.: 2000. -20 c.
