Исследование интерферометра сдвига в фазоизмерительных приборах и системах расшифровки голографических интерферограмм
Автор: Майоров Евгений Евгеньевич, Дагаев А.В., Пономарев С.Е., Черняк Т.А.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Физика приборостроения
Статья в выпуске: 2 т.27, 2017 года.
Бесплатный доступ
В настоящей работе освещены методы голографической интерферометрии, которые являются высокоинформативным и высокоточным инструментом получения данных. Показана востребованность и актуальность применения интерферометра сдвига для измерения возмущенного объекта. Проведен анализ влияния перекрестной интерференции на точность измерений, а именно: для расстройки, не превышающей 2 мкм, ошибка измерений в режиме определения относительной величины вектора смещения не превышает 0.015 рад, что составляет 0.002 доли интерференционной полосы, а также при дополнительном смещении ~10 мкм максимальная ошибка не превышает 0.001 доли интерференционной полосы. Получено уравнение интерференции для интерферометра сдвига, где видно, что для случая вращения пластины относительно оси Х2 график зависимости разности фаз и производной от угла α у носит существенно нелинейный характер, что приводит к деформации интерференционного поля и погрешности считывания информации. Впервые исследованы границы применимости интерферометра и даны верхняя граница диапазона измерений величины вектора смещения, равная 1.5 мм, и нижняя граница определяемого смещения - 0.01 мкм.
Голографическая интерферометрия, интерферометр сдвига, голографическая интерферограмма, фазоизмерительные системы, возмущенный объект
Короткий адрес: https://sciup.org/14265070
IDR: 14265070 | DOI: 10.18358/np-27-2-i3240
Список литературы Исследование интерферометра сдвига в фазоизмерительных приборах и системах расшифровки голографических интерферограмм
- Powell R.L., Stetson K.A. Interferometric analysis by wavefront reconstruction//J. Opt. Soc. Am. 1965. Vol. 55. P. 1593-1599 DOI: 10.1364/JOSA.55.001593
- Вест Ч. Голографическая интерферометрия. М.: Мир, 1982. 504 с.
- Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т. Применение двухчастотного излучения для реализации принципов гетеродинной голографической интерферометрии с одним опорным пучком//Известия высших учебных заведений. Приборостроение. 2012. Т. 55, № 12. С. 43-45.
- Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Шерстобитова А.С. Исследование оптико-электронной системы расшифровки голографических интерферограмм//Оптический журнал. 2013. Т. 80, № 3. С. 47-51.
- Maiorov E.E., Prokopenko V.T., Sherstobitova A.S. Investigating an optoelectronic system for interpreting holographic interferjgrams//Journal of Optical Tecynology. 2013. Vol. 80, no. 3. P. 162-165.
- Захарьевский А.Н. Интерферометры. М.: Оборонгиз, 1952. 296 с.
- Александров Е.Б., Бонч-Бруевич А.М. Исследование поверхностных деформаций с помощью голограммной техники//ЖТФ. 1967. Т. 37, № 2. С. 360-365.
- Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т. Исследование напряженно-деформированной поверхности объектов методом голографической интерферометрии//Научное обозрение. 2013. № 1. С. 43-46.
- Большаков И.П., Котов И.Р., Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т. Анализ влияния перекрестной интерференции на погрешность интерферометра сдвига//Известия высших учебных заведений. Приборостроение. 2013. Т. 56, № 5. С. 18-21.
- Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т. Вывод аналитического выражения для разности хода лучей, прошедших интерферометр Жамена//Научное приборостроение. 2013. Т. 23, № 3. С. 76-81. URL: http://iairas.ru/mag/2013/abst3.php#abst10.
- Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Ушверидзе Л.А. Система когерентной обработки спеклограмм для исследования поверхностей зубной ткани//Медицинская техника. Москва: СОО "МНТО ПМ", 2013. С. 25-27.
- Майоров Е.Е. Измерение смещений диффузно отражающих поверхностей вне плоскости системой обработки голографических интерферограмм//Научное обозрение. 2013. № 12. С. 190-195.
- Майоров Е.Е., Машек А.Ч., Удахина С.В., Цыганкова Г.А., Хайдаров Г.Г., Черняк Т.А. Разработка компьютерной интерференционной системы контроля негладких поверхностей//Приборы. Москва: СОО "МНТО ПМ", 2015. T. 185, № 11. С. 26-31.
- Майоров Е.Е., Машек А.Ч., Удахина С.В., Цыганкова Г.А., Хайдаров Г.Г., Черняк Т.А. Алгоритмы обработки информационного сигнала компьютерной интерференционной системы контроля негладких поверхностей//Научное приборостроение. 2015. Т. 25, № 4. С. 61-66. URL: http://iairas.ru/mag/2015/abst4.php#abst8.
- Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Удахина С.В., Цыганкова Г.А., Черняк Т.А. Оптико-электронная компьютерная система для обнаружения внешних агентов в подповерхностных слоях кожного покрова//Медицинская техника. Москва: СОО "МНТО ПМ", 2016. № 2. С. 7-10.
- Прокопенко В.Т., Майоров Е.Е., Машек А.Ч., Удахина С. В., Цыганкова Г. А., Хайдаров А. Г., Черняк Т. А. Оптико-электронный прибор для контроля геометрических параметров диффузно отражающих объектов//Изв. вузов. Приборостроение. 2016. Т. 59, № 5. С. 388-394.
