ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ПЛОСКОВЫПУКЛЫХ ЛИНЗ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ УСТАНОВКОЙ С ДИФРАГИРОВАННЫМ ОПОРНЫМ ВОЛНОВЫМ ФРОНТОМ

ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ПЛОСКОВЫПУКЛЫХ ЛИНЗ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ УСТАНОВКОЙ С ДИФРАГИРОВАННЫМ ОПОРНЫМ ВОЛНОВЫМ ФРОНТОМ

Автор: Е. Е. Майоров, Ю. М. Бородянский, Р. Б. Гулиев, А. В. Дагаев, В. В. Курлов, И. С. Таюрская

Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie

Рубрика: Физика приборостроения

Статья в выпуске: 1, 2023 года.

Бесплатный доступ

В работе реализовано схемное решение на экспериментальной интерферометрической установке, действие которой основано на формировании опорного волнового фронта с применением точечной диафрагмы. Оптические приборы и комплексы, построенные по такой схеме, дают возможность проводить измерения на поверхностях оптических деталей и элементов, предназначенных для высокоточной оптики (интерферометров различного назначения, интерференционных микроскопов и т.д.), поэтому работа перспективна и актуальна. В работе приведена оптическая схема интерферометра, а также даны технико-эксплуатационные характеристики экспериментальной установки. Определены объекты и метод исследования. Получены интерферограммы с поверхностей плосковыпуклых линз: из бесцветного оптического стекла марки К8, кварцевого стекла марки КИ (плавленый кварц SiO2) и селенида цинка (ZnSe). Проанализированы изображения интерференционных полей и выявлены основные параметры волновых фронтов. Оптические поверхности контролировались экспериментальной установкой с точностью не хуже 0.01 λ. Исследовалась отражательная способность оптических поверхностей предоставленных образцов и получены зависимости коэффициента отражения по координатам x и y.

Еще

Точность, чувствительность, оптический контроль, интерференционные методы, плосковыпуклые линзы, виброустойчивость, микрообъектив

Короткий адрес: https://sciup.org/142236866

IDR: 142236866

Список литературы ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ПЛОСКОВЫПУКЛЫХ ЛИНЗ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ УСТАНОВКОЙ С ДИФРАГИРОВАННЫМ ОПОРНЫМ ВОЛНОВЫМ ФРОНТОМ

  • 1. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970. 855 с.
  • 2. Kirillovsky V.K. Diffraction reference wavefront laser interferometer // SPIE. The International Society for Optical Engineering Proceed. "Miniature and Microoptics: Fabrication and System Applications". 1992. Vol. 5 (1751). P. 197–200. DOI: 10.1117/12.138881
  • 3. Ландсберг Г.С. Оптика. М.: Наука, 1976. 926 с.
  • 4. Малакара Д. Оптический производственный контроль / пер. с англ. под ред. А.Н. Соснова. М.: Машиностроение, 1985. 340 с.
  • 5. Креопалова Г.В., Лазарева Н.Л., Пуряев Д.Т. Оптические измерения. М.: Машиностроение, 1987. 264 с.
  • 6. Афанасьев В.А. Оптические измерения. М.: Недра, 1968. 263 с.
  • 7. Левин Б.М. Оптические методы определения характера профиля поверхностей // Оптико-механическая промышленность. 1938. № 10-11. С. 37–41.
  • 8. Захарьевский А.Н. Интерферометры. М.: Оборонгиз, 1952. 296 с.
  • 9. Коломийцев Ю.В. Интерферометры. Л.: Машиностроение, 1976. 296 с.
  • 10. Прокопенко В.Т., Майоров Е.Е. Интерферометрия диффузно отражающих объектов. М.: НИУ ИТМО, 2014. 195 с.
  • 11. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Ушверидзе Л.А. Оптимизация динамических параметров оптического щупа триггерного типа // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2012. № 2 (78). С. 13–16. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=17755116
  • 12. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Ушверидзе Л.А. Расчет параметров сканирования интерферометрической системы контроля формы диффузно отражающих объектов // Приборы. 2012. № 7 (145). С. 23–25. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=17910855
  • 13. Майоров Е.Е. Машек А.Ч., Прокопенко В.Т., Чистякова Н.Я. Исследование метрологических характеристик измерительной оптико-механической головки // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. 2012. Т. 55, № 7. С. 59–65. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=17790990
  • 14. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Шерстобитова А.С. Исследование оптико-электронной системы расшифровки голографических интерферограмм // Оптический журнал. 2013. Т. 80, № 3. С. 47–51. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=23285864
  • 15. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т. Исследование влияния спекл-структуры на формирование интерференционного сигнала и погрешность измерений // Научное приборостроение. 2013. Т. 23, № 2. С. 38–46. URL: http://iairas.ru/mag/2013/abst2.php#abst5
  • 16. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т. Вывод аналитического выражения для разности хода лучей, прошедших интерферометр Жамена // Научное приборостроение. 2013. Т. 23, № 3. С. 76–81. URL: http://iairas.ru/mag/2013/abst3.php#abst10
  • 17. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Ушверидзе Л.А. Система когерентной обработки спеклограмм для исследования поверхностей зубной ткани // Медицинская техника. 2013. № 6 (282). С. 25–27. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=21034782
  • 18. Майоров Е.Е., Машек А.Ч., Удахина С.В., Цыганкова Г.А., Хайдаров Г.Г., Черняк Т.А. Разработка компьютерной интерференционной системы контроля негладких поверхностей // Приборы. 2015. № 11 (185). С. 26–31. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=25340893
  • 19. Прокопенко В.Т., Майоров Е.Е., Машек А.Ч., Удахина С.В., Цыганкова Г.А., Хайдаров А.Г., Черняк Т.А. Оптико-электронный прибор для контроля геометрических параметров диффузно отражающих объектов // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. 2016. Т. 59, № 5. С. 388–394. DOI: 10.17586/0021-3454-2016-59-5-388-394
  • 20. Майоров Е.Е., Дагаев А.В., Пономарев С.В., Черняк Т.А. Исследование интерферометра сдвига в фазоизмерительных приборах и системах расшифровки голографических интерферограмм // Научное приборостроение. 2017. Т. 27, № 2. С. 32–40. URL: http://iairas.ru/mag/2017/abst2.php#abst4
  • 21. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Машек А.Ч., Цыганкова Г.А., Курлов А.В., Хохлова М.В., Кирик Д.И., Капралов Д.Д. Экспериментальное исследование метрологических характеристик автоматизированной интерферометрической системы измерения формы поверхности диффузно отражающих объектов // Измерительная
  • техника. 2017. № 10. С. 33–37. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=30525791
  • 22. Курлов В.В., Коцкович В.Б., Майоров Е.Е., Пушкина В.П., Таюрская И.С. Экспериментальное исследование разработанной интерференционной системы для измерений поверхности объектов сложной формы // Известия тульского государственного университета. Технические науки. 2020. № 8. C. 179–189. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=44038077
  • 23. Цыганкова Г.А., Майоров Е.Е., Черняк Т.А., Константинова А.А., Машек А.Ч., Писарева Е.А. Исследование разработанного интерферометра поперечного сдвига для настройки интерференционных полос при обработке интерферограмм // Приборы. 2021. № 2. С. 20–25. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=44906824
  • 24. Хохлова М.В., Дагаев А.В., Майоров Е.Е., Арефьев А.В., Гулиев Р.Б., Громов О.В. Исследование оптико-электронной системы при обработке голографических пластин // Международный научноисследовательский журнал. 2021. № 8 (110). С. 103–108. DOI: 10.23670/IRJ.2021.110.8.015
  • 25. Хохлова М.В., Дагаев А.В., Майоров Е.Е., Арефьев А.В., Гулиев Р.Б., Громов О.В. Интерференционная система измерения геометрических параметров отражающих поверхностей // Международный научноисследовательский журнал. 2021. № 6 (108). С. 184–189. DOI: 10.23670/IRJ.2021.108.6.029
Еще
Статья научная
SciUp 2024 © 2024 ©