Investigation of the optical probe with partial coherence illumination
Автор: Bolshakov O.P., Kotov I.R., Majorov E.E., Khopov V.V.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: 300 лет Санкт-Петербургу. Материалы XXXII конференции СПБГИТМО (ТУ)
Статья в выпуске: 2 т.13, 2003 года.
Бесплатный доступ
The optical probe with partial coherence illumination for analysis of rough surfaces has been studied. A method to minimize the influence of speckle-modulation is proposed. The proposed method is used to develop a device with scanning reference mirror.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264285
IDR: 14264285
Статья научная
