Исследование особенностей ионизации в масс-спектрометрическом источнике ионов с импульсным тлеющим разрядом
Автор: Кузьмин А.Г., Михновец П.В.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: 25 лет институту аналитического приборостроения РАН
Статья в выпуске: 3 т.12, 2002 года.
Бесплатный доступ
Источник ионов с импульсным тлеющим разрядом установлен на серийный масс-спектрометр МС7303. Исследовано влияние длительности и частоты импульсов напряжения на выходной ток ионов образца. Показано, что условия разряда различным образом влияют на выходные интенсивности ионов различного происхождения. При условиях разряда, оптимальных для образования ионов образца, уменьшается интенсивность ионов аргона и органических фрагментов; это обстоятельство позволяет снизить влияние спектральных наложений и облегчить интерпретацию масс-спектра, что особенно важно на приборах с низким разрешением. Полученные масс-спектры свидетельствуют о возможности достижения на масс-спектрометре МС7303 с источником ионов с импульсным тлеющим разрядом пределов обнаружения микропримесей на уровне 10 ррm при разрешающей способности порядка 1-1.5 М на уровне 50 % высоты пика, что является достаточным для проведения стандартного элементного анализа твердых образцов. Диапазон массовых чисел масс-спектрометра - от 1 до 500 - вполне достаточен для задач элементного анализа. Показано, что стабильность давления аргона в разрядной камере определяющим образом влияет на стабильность условий разряда и воспроизводимость результатов анализа. Для обеспечения стабильности выходного тока на уровне 3 % необходима стабильность давления на уровне до 0.1 %.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264247
IDR: 14264247
Список литературы Исследование особенностей ионизации в масс-спектрометрическом источнике ионов с импульсным тлеющим разрядом
- Adams F., Vertes A.//Fresenius J. Anal Chem. 1990. V. 337. P. 638-647.
- Harrison W.W., Hang Wei//Fresenius J. Anal. Chem. 1996. V 355. P. 803-807.
- Bogaerts A. Gijbels R.//Fresenius J. Anal. Chem. 1999. V. 364. P. 367-375.
- Kouzmin A.G., Gall L.N., Muradimov M.Z.//Fresenius J. Anal. Chem. 1996. V. 355. P. 866-867.
- Klingler J.A., Savickas P.J., Harrison W.W.//J. Am. Soc. Mass Spectrom. 1990. V. 1. P. 138-143.
- Oksenoid K.G., Liebich V., Pietzsch G.//Fresenius J. Anal. Chem. 1996. V. 355. P. 863-865.
- Сапрыкин А.И. Масс-спектрометрический анализ материалов электронной техники. Автореф. дис. … д-ра техн. наук. Новосибирск, 1999.