Исследование погрешностей формирования дифракционной решетки на торце галогенидного ик-волновода
Автор: Волков А.В., Головашкин Д.Л., Ерополов В.А., Казанский Н.Л., Карпеев С.В., Моисеев О.Ю., Павельев В.С., Артюшенко В.Г., Кашин В.В.
Журнал: Известия Самарского научного центра Российской академии наук @izvestiya-ssc
Рубрика: Общая физика и электроника
Статья в выпуске: 4 т.8, 2006 года.
Бесплатный доступ
Исследована технология формирования дифракционного микрорельефа на торце поликристаллического ИК-световода (PIR-световода). Рассмотрено влияние погрешностей технологии формирования делителя пучка, реализованного на выходном торце световода, на заданное распределение интенсивностей дифракционных порядков. Сформулированы рекомендации по улучшению характеристик формируемого микрорельефа.
Короткий адрес: https://sciup.org/148197891
IDR: 148197891
Список литературы Исследование погрешностей формирования дифракционной решетки на торце галогенидного ик-волновода
- Бородин С.А., Волков А.В., Казанский Н.Л., Карпеев С.В., Моисеев О.Ю., Павельев В.С., Якуненкова Д.М., Рунков Ю.А., Головашкин Д.Л. Формирование и исследование дифракционного микрорельефа на торце галогенидного ИК волновода // Компьютерная оптика, 2005, №27, с. 41-44
- Досколович Л.Л., Тявин Е.В. Расчет бинарных дифракционных решеток с клином травления // Компьютерная оптика, 2005, №27, с. 17-20
- Electromagnetic Theory on Gratings/Ed. by R. Petit. Berlin; Heidelberg: New York; Springer-Verlag, 1980
- Hiroyuki Ichikawa Electromagnetic analysis of diffraction gratings by the finite-difference time-domain method//J. Opt. Soc. Am, 1998, Vol. 15, N. 1, р. 152-157.
- A. Taflove, S. Hagness Computational Electrodynamics: The Finite-Difference Time-Domain Method. -Arthech House Publishers, Boston, 2nd. ed., 2000, 852 p.
- Prasciolu M., Cojoc D., Cabrini S., Businaro L., Candeloro P., Tormen M., Kumar R., Liberale C., Degiorgio V., Gerardino A., Gigli G., Pisignano D., Di Fabrizio E., Cingolani R. Design and fabrication of onfiber diffractive elements for fiber-waveguide coupling by means of e-beam lithography//Microelectronic Engineering V. 67-68, 2003, pp. 169-174
- Johnson E.G., Stack J., Suleski T.J., Koehler C., Delaney W. Fabrication of micro optics on coreless fiber segments//Applied Optics, V. 42, N 5, 2003.
- Введение в фотолитографию//Под ред. Лаврищева В. П. М.: Энергия, 1977.
- Методы Компьютерной Оптики под редакцией В.А. Сойфера//М.: «Физматлит», 2000.
- Моро У. Микролитография//В 2-х частях. Пер. с англ. М.: Мир, 1980.
- Головашкин Д.Л. Дифракция Н-волны на двумерной диэлектрической решетке//Математическое моделирование Т.16, N 9, 2004.
- Головашкин Д.Л., Казанский Н.Л. Методика формирования падающей волны при разностном решении уравнений Максвелла. Одномерный случай//Автометрия. 2006. том 42. № 6.
