Исследование процессов нанесения и травления фоторезиста с целью повышения точности формирования микрорельефа широкоапертурных ДОЭ
Автор: Волков А.В., Казанский Н.Л., Моисеев О.Ю.
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Технологии компьютерной оптики
Статья в выпуске: 19, 1999 года.
Бесплатный доступ
Короткий адрес: https://sciup.org/14058397
IDR: 14058397
Статья
