Исследование технологии плазменного травления для получения многоуровневых дифракционных оптических элементов

Автор: Волков А.В., Казанский Н.Л., Рыбаков О.Е.

Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics

Рубрика: Технологии компьютерной оптики

Статья в выпуске: 18, 1998 года.

Бесплатный доступ

Короткий адрес: https://sciup.org/14058367

IDR: 14058367

Статья