Исследование технологии плазменного травления для получения многоуровневых дифракционных оптических элементов
Автор: Волков А.В., Казанский Н.Л., Рыбаков О.Е.
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Технологии компьютерной оптики
Статья в выпуске: 18, 1998 года.
Бесплатный доступ
Короткий адрес: https://sciup.org/14058367
IDR: 14058367
Статья
