Изучение механизмов формирования структур железа на поверхности кремния при различных технологических условиях методом атомно-силовой микроскопии
Автор: Александрова Г.А., Вайтузин О.П., Березицкая Е.П., Паршин А.С., Варнаков С.Н., Овчинников С.Г.
Журнал: Сибирский аэрокосмический журнал @vestnik-sibsau
Рубрика: Технологические процессы и материалы
Статья в выпуске: 4 (25), 2009 года.
Бесплатный доступ
Представлены результаты исследования топологии поверхности железо-кремниевых структур, полученных при разных температурных условиях, методом атомно-силовой микроскопии.
Железо-кремниевые структуры, атомно-силовая микроскопия
Короткий адрес: https://sciup.org/148176017
IDR: 148176017
Краткое сообщение
