Экспериментальные исследования метода дефокусировки электронного пучка при измерениях геометрических параметров наноразмерных объектов в низковольтном режиме растрового электронного микроскопа
Автор: Бодунов Дмитрий Сергеевич, Данилова Мария Александровна, Кальнов Владимир Александрович, Кузин Александр Юрьевич, Митюхляев Виталий Борисович, Орликовский Александр Александрович, Раков Александр Васильевич, Тодуа Павел Андреевич, Филиппов Михаил Николаевич
Журнал: Труды Московского физико-технического института @trudy-mipt
Рубрика: Нанотехнология и нанометрия
Статья в выпуске: 1 (17) т.5, 2013 года.
Бесплатный доступ
Выполнены измерения линейных размеров элемента нанорельефа с трапецеидальным профилем в растровом электронном микроскопе (РЭМ), работающем при ускоряющем напряжении 800 В, методом дефокусировки электронного пучка. Показано, что видеосигнал во вторичных электронах может быть представлен как кусочно-линейная функция с характерными точками излома. Установлено, что расстояния между экстремумами и точками начала возрастания сигнала линейно зависят от эффективного диаметра def, электронного пучка РЭМ. Экстраполяция этих прямых к def = 0 позволяет определить значения размеров верхнего и нижнего оснований упомянутого выше элемента нанорельефа и среднее значение проекции боковой стенки элемента.
Короткий адрес: https://sciup.org/142185888
IDR: 142185888
Experimental studies of the electron ray defocusing method in nanosize objects geometric parameters measurements in the low voltage mode of a scanning electron microscope
We measure the linear sizes of a nanorelief element with trapezoid profile using a scanning electron microscope (SEM) working at accelerating voltage 800 V by the electron ray defocusing method. It is shown that a signal in the secondary electrons can be represented as a piecewise linear function with characteristic break points. It is found that the distance between the extrema and points of the beginning of signal increase depends linearly on the effective diameter, a SEM electron ray. The extrapolation of the straight lines on =0 allows us to determine the values of the sizes of the upper and lower bases of the above nanorelief element and the mean value of the projection of the side wall of the element.
Список литературы Экспериментальные исследования метода дефокусировки электронного пучка при измерениях геометрических параметров наноразмерных объектов в низковольтном режиме растрового электронного микроскопа
- ГОСТ Р 8.631-2007. Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки. -М.: Стандартинформ, 2011.
- Filippov M.N., Novikov Yu.A., Rakov A.V., Todua P.A. SEM Probe Defocusing Method of Measurement of Linear Sizes of Nanorelief Elements//Proc. of SPIE. -2010. -V. 7521. -P. 752116-1-752116-9.
- Валиев К.А., Гавриленко В.П., Жихарев Е.Н., Данилова М.А., Кальнов В.А., Ларионов Ю.В., Митюхляев В.Б., Орликовский А.А., Раков А.В., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. 20 ТРУДЫ МФТИ. -2013. -Том 5, № 1 Whole cell strategies based on lux genes for high throughput applications toward new antimicrobials//Comb. Chem. High Throughput Screen. -2006. -V. 9. -P. 501-514.
- Gavrilenko V.P., Mityukhlyaev V.B., Novikov Yu.AQ., Ozerin Yu.V., Rakov A.V., Todua P.A. Whole cell-based biosensors for environmental biomonitoring and application//Adv. Biochem. Eng. Biotechnol. -2004. -V. 87. -P. 268-305.
