Экспериментальные исследования метода дефокусировки электронного пучка при измерениях геометрических параметров наноразмерных объектов в низковольтном режиме растрового электронного микроскопа
Автор: Бодунов Дмитрий Сергеевич, Данилова Мария Александровна, Кальнов Владимир Александрович, Кузин Александр Юрьевич, Митюхляев Виталий Борисович, Орликовский Александр Александрович, Раков Александр Васильевич, Тодуа Павел Андреевич, Филиппов Михаил Николаевич
Журнал: Труды Московского физико-технического института @trudy-mipt
Рубрика: Нанотехнология и нанометрия
Статья в выпуске: 1 (17) т.5, 2013 года.
Бесплатный доступ
Выполнены измерения линейных размеров элемента нанорельефа с трапецеидальным профилем в растровом электронном микроскопе (РЭМ), работающем при ускоряющем напряжении 800 В, методом дефокусировки электронного пучка. Показано, что видеосигнал во вторичных электронах может быть представлен как кусочно-линейная функция с характерными точками излома. Установлено, что расстояния между экстремумами и точками начала возрастания сигнала линейно зависят от эффективного диаметра def, электронного пучка РЭМ. Экстраполяция этих прямых к def = 0 позволяет определить значения размеров верхнего и нижнего оснований упомянутого выше элемента нанорельефа и среднее значение проекции боковой стенки элемента.
Короткий адрес: https://sciup.org/142185888
IDR: 142185888
Список литературы Экспериментальные исследования метода дефокусировки электронного пучка при измерениях геометрических параметров наноразмерных объектов в низковольтном режиме растрового электронного микроскопа
- ГОСТ Р 8.631-2007. Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки. -М.: Стандартинформ, 2011.
- Filippov M.N., Novikov Yu.A., Rakov A.V., Todua P.A. SEM Probe Defocusing Method of Measurement of Linear Sizes of Nanorelief Elements//Proc. of SPIE. -2010. -V. 7521. -P. 752116-1-752116-9.
- Валиев К.А., Гавриленко В.П., Жихарев Е.Н., Данилова М.А., Кальнов В.А., Ларионов Ю.В., Митюхляев В.Б., Орликовский А.А., Раков А.В., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. 20 ТРУДЫ МФТИ. -2013. -Том 5, № 1 Whole cell strategies based on lux genes for high throughput applications toward new antimicrobials//Comb. Chem. High Throughput Screen. -2006. -V. 9. -P. 501-514.
- Gavrilenko V.P., Mityukhlyaev V.B., Novikov Yu.AQ., Ozerin Yu.V., Rakov A.V., Todua P.A. Whole cell-based biosensors for environmental biomonitoring and application//Adv. Biochem. Eng. Biotechnol. -2004. -V. 87. -P. 268-305.
