Экспериментальные исследования процессов дегазации катодных материалов в условиях высокого вакуума с применением масс-спектрометрического анализа
Автор: Паращук А.В., Шешин Е.П., Ханбеков И.Ф.
Журнал: Труды Московского физико-технического института @trudy-mipt
Рубрика: Физика
Статья в выпуске: 2 (70) т.18, 2026 года.
Бесплатный доступ
В статье представлена детально разработанная методика проведения эксперимента по исследованию процессов дегазации прессованных катодных материалов, используемых в электровакуумных приборах магнетронного типа. Основное внимание уделено описанию оригинальной экспериментальной установки, в частности, специализированной ячейки на базе Т-образного фланца CF40, которая обеспечивает контролируемый нагрев образца, точное измерение температуры и эффективную передачу десорбируемых газов в масс-спектрометрический анализатор. Описаны ключевые элементы установки: система сверхвысокого вакуума, масс-спектрометр, система нагрева и термоконтроля, а также двойной термоэкранирующий кожух. Приведены обоснования выбора конструктивных решений, направленных на минимизацию объемов, снижение тепловых потерь и фоновых сигналов, что в совокупности позволяет получать высокодостоверные данные о кинетике десорбции газов в режиме реального времени.
Дегазация, масс-спектрометрия, сверхвысокий вакуум, катодные материалы, Т-образный фланец, термодесорбционная спектроскопия, экспериментальная методика
Короткий адрес: https://sciup.org/142248261
IDR: 142248261 | УДК: 537.533.35
Experimental studies of the degassing processes of cathode materials under high-vacuum conditions using massspectrometric analysis
The article presents a detailed experimental methodology for studying the degassing processes of pressed cathode materials used in magnetron-type vacuum devices. The main focus is on describing the original experimental setup, particularly the specialized CF40 T-flange cell, which provides controlled heating of the sample, accurate temperature measurement, and efficient transfer of desorbed gases to a mass spectrometer analyzer. The key elements of the installation are described: a system of ultra-high vacuum, a mass spectrometer, a heating and thermal control system, and a double thermo-shielding casing. The rationale for the choice of design solutions aimed at minimizing volumes, reducing heat losses and background signals is given, which in combination allows to obtain highly reliable data on the kinetics of gas desorption in real time.
