Ellipsometer combining the zero and photometric approaches
Автор: Bobro V.V., Dron O.S., Komyak N.I., Semenenko A.I.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Оригинальные статьи
Статья в выпуске: 2 т.10, 2000 года.
Бесплатный доступ
The metrogical advantages and specific features of metrological certification of an ellipsometer combining the zero and photometric approaches are discussed.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264127
IDR: 14264127
Статья научная
