Эллипсометр, сочетающий в себе «нулевой» и фотометрический подходы
Автор: Бобро В.В., Дронь О.С., Комяк Н.И., Семененко А.И.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Оригинальные статьи
Статья в выпуске: 2 т.10, 2000 года.
Бесплатный доступ
Рассмотрены метрологические преимущества и особенности метрологической аттестации эллипсометра, сочетающего в себе «нулевой» и фотометрический подходы.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264127
IDR: 14264127
Список литературы Эллипсометр, сочетающий в себе «нулевой» и фотометрический подходы
- Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 583 с.
- Ржанов А.В., Свиташев К.К., Семененко А.И. и др. Основы эллипсометрии. Новосибирск: Наука, 1979. 422 с.
- Семененко А.И.//Оптика и спектроскопия. 1978. Т. 45, № 1. С. 199-201.
- Семененко А.И., Бобро В.В.//Автометрия. 1997. № 1. С. 43-49.
- Semenenko A.I., Bobro V.V., Mardezhov A.S., Semenenko E.M.//Proc. SPIE. 1998. V. 3485. P. 336-342.
- Бобро В.В., Семененко А.И.//Научное приборостроение. 2000. Т. 10, № 1. С. 65-69.
Статья научная
