К теории рентгеновской Лауэ дифракции в термомиграционном кристаллическом канале с легирующей примесью
Автор: Казаков Д.В., Карпов А.В., Колосов С.И., Мальков Д.М., Пунегов В.И.
Журнал: Известия Коми научного центра УрО РАН @izvestia-komisc
Рубрика: Научные статьи
Статья в выпуске: 5 (71), 2024 года.
Бесплатный доступ
Теоретически рассмотрена рентгеновская Лауэ дифракция в кристалле кремния с термомиграционными каналами Si(Al). На основе модели упругих полей атомных смещений в канале получены выражения распределения деформаций для описания дифракции в геометрии Лауэ. Выполнен численный расчет распределения интенсивности рентгеновского рассеяния вблизи узла обратной решетки. Показано отличие дифракции в совершенном и деформированном кристалле.
Рентгеновская дифракция в геометрии лауэ, термомиграционный канал, двумерные рекуррентные соотношения, уравнения такаги-топена, поле упругих деформаций
Короткий адрес: https://sciup.org/149146004
IDR: 149146004 | УДК: 548.732 | DOI: 10.19110/1994-5655-2024-5-64-67
On the theory of X-ray Laue diffraction in a thermomigration crystalline channel with a doping impurity
X-ray Laue diffraction in a silicon crystal with Si(Al) thermomigration channels has been theoretically considered. Based on the model of elastic fields of atomic displacements in the channel, expressions for the distribution of strains have been obtained to describe diffraction in the Laue geometry. A numerical calculation of the X-ray scattering intensity distribution near a reciprocal lattice point has been performed. The difference between diffraction in a perfect and strained crystal has been shown.
Список литературы К теории рентгеновской Лауэ дифракции в термомиграционном кристаллическом канале с легирующей примесью
- Holý, V. High-Resolution X-ray Scattering from Thin Films and Multilayers / V. Holý, U. Pietch, T. Baumbach // Springer-Verlag Berlin Heidelberg. - 1999.
- Iida, A. Separate measurements of dynamical and kinematical x-ray diffractions from silicon crystals with a triple crystal diffractometer / A. Iida, K. Kohra // Phys. Stat. Sol. (a) - 1979. - Vol. 51. - P. 533-542.
- Lomov, A. Laue X-ray diffraction studies of the structural perfection of Al-doped thermomigration channels in silicon / A. A. Lomov, V. I. Punegov, B. M. Seredin // J. Appl. Cryst. - 2021. - Vol. 54. - P. 588-596. EDN: QAUNMO
- Lomov, A. High-resolution X-ray Bragg diffraction in Al thermomigrated Si channels / A. A. Lomov, V. I. Punegov, A. Yu. Belov, B. M. Seredin // J. Appl. Cryst. - 2022. - Vol. 55. - P. 558-568. EDN: OCOOYC
- Takagi, S. A Dynamical theory of diffraction applicable to crystals with any kind of small distortion / S. Takagi // Acta Cryst. - 1962. - Vol. 15, № 12. - P. 1311-1312.
- Taupin, D. Theorie dynamique de la diffraction des rayons x par les cristaux deformes. / D. Taupin // Bull. Soc. Franc. Mineral. Crist. - 1964. - Vol. 87. - P. 469-511.
- Epelboin, Y. Simulation of X-ray topographs. / Y. Epelboin // Mater. Sci. Eng. - 1985. - Vol. 73. - P. 1-43. EDN: XVCXXD
- Punegov, V. Two-dimensional recurrence relations and Takagi-Taupin equations. I. Dynamical X-ray diffraction by a perfect crystal / V. I. Punegov, S. I. Kolosov // J. Appl. Cryst. - 2022. - Vol. 55. - P. 320-328. EDN: BPVFBZ
