К теории рентгеновской Лауэ дифракции в термомиграционном кристаллическом канале с легирующей примесью
Автор: Казаков Д.В., Карпов А.В., Колосов С.И., Мальков Д.М., Пунегов В.И.
Журнал: Известия Коми научного центра УрО РАН @izvestia-komisc
Рубрика: Научные статьи
Статья в выпуске: 5 (71), 2024 года.
Бесплатный доступ
Теоретически рассмотрена рентгеновская Лауэ дифракция в кристалле кремния с термомиграционными каналами Si(Al). На основе модели упругих полей атомных смещений в канале получены выражения распределения деформаций для описания дифракции в геометрии Лауэ. Выполнен численный расчет распределения интенсивности рентгеновского рассеяния вблизи узла обратной решетки. Показано отличие дифракции в совершенном и деформированном кристалле.
Рентгеновская дифракция в геометрии лауэ, термомиграционный канал, двумерные рекуррентные соотношения, уравнения такаги-топена, поле упругих деформаций
Короткий адрес: https://sciup.org/149146004
IDR: 149146004 | DOI: 10.19110/1994-5655-2024-5-64-67
Список литературы К теории рентгеновской Лауэ дифракции в термомиграционном кристаллическом канале с легирующей примесью
- Holý, V. High-Resolution X-ray Scattering from Thin Films and Multilayers / V. Holý, U. Pietch, T. Baumbach // Springer-Verlag Berlin Heidelberg. - 1999.
- Iida, A. Separate measurements of dynamical and kinematical x-ray diffractions from silicon crystals with a triple crystal diffractometer / A. Iida, K. Kohra // Phys. Stat. Sol. (a) - 1979. - Vol. 51. - P. 533-542.
- Lomov, A. Laue X-ray diffraction studies of the structural perfection of Al-doped thermomigration channels in silicon / A. A. Lomov, V. I. Punegov, B. M. Seredin // J. Appl. Cryst. - 2021. - Vol. 54. - P. 588-596. EDN: QAUNMO
- Lomov, A. High-resolution X-ray Bragg diffraction in Al thermomigrated Si channels / A. A. Lomov, V. I. Punegov, A. Yu. Belov, B. M. Seredin // J. Appl. Cryst. - 2022. - Vol. 55. - P. 558-568. EDN: OCOOYC
- Takagi, S. A Dynamical theory of diffraction applicable to crystals with any kind of small distortion / S. Takagi // Acta Cryst. - 1962. - Vol. 15, № 12. - P. 1311-1312.
- Taupin, D. Theorie dynamique de la diffraction des rayons x par les cristaux deformes. / D. Taupin // Bull. Soc. Franc. Mineral. Crist. - 1964. - Vol. 87. - P. 469-511.
- Epelboin, Y. Simulation of X-ray topographs. / Y. Epelboin // Mater. Sci. Eng. - 1985. - Vol. 73. - P. 1-43. EDN: XVCXXD
- Punegov, V. Two-dimensional recurrence relations and Takagi-Taupin equations. I. Dynamical X-ray diffraction by a perfect crystal / V. I. Punegov, S. I. Kolosov // J. Appl. Cryst. - 2022. - Vol. 55. - P. 320-328. EDN: BPVFBZ
