Количественная растровая электронная микроскопия материалов и структур твердотельной электроники
Автор: Конников С.Г.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Обзоры
Статья в выпуске: 1 т.10, 2000 года.
Бесплатный доступ
Растровая электронная микроскопия - современный метод диагностики материалов и структур твердотельной электроники. Приводится краткая историческая справка о создании и совершенствовании РЭМ. Рассматривается природа сигналов, генерируемых и регистрируемых в РЭМ, и их информативность. Иллюстрируются некоторые примеры применения РЭМ.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264109
IDR: 14264109 | УДК: 621.385.833.28
Quantitative scanning electron microscopy of materials and structures of solid state electronics
Scanning electron microscopy is a modern method to characterize materials and structures of solid state electronics. A short historical reference on creation and improvement of SEM is made. The nature of the signals generated and observed in SEM is described. Some examples of characterization by SEM are considered.
Список литературы Количественная растровая электронная микроскопия материалов и структур твердотельной электроники
- Конников С.Г., Сидоров А.Ф. Электронно-зондовые исследования полупроводниковых материалов и приборов. М.: Энергия, 1978. 148 с.
- Konnikov S.G. Electron Probe Analysis of Semiconductor Heterostructures//Semiconductor heterostructure: Physical Processes and application/Ed. by Zh. I. Alferov. Mir Publishers, Moscow, 1989. P. 244-270.
- Микроанализ и растровая электронная микроскопия. М.: Мир, 1985. 406 с.
- Конников С.Г., Соловьев В.А., Уманский В.Е., Чистяков В.М. Определение электрофизических параметров тонких гетероэпитаксиальных слоев в РЭМ//ФТП. 1989. Т. 23, № 8. С. 1411-1416 (1-я часть); 1990. Т. 24, № 9. С. 271-276 (2-я часть).
- Соловьев В.А., Конников С.Г., Гаевский М.Э., Шанцев Д.В. Количественная низкотемпературная растровая электронная микроскопия тонких ВТСП-пленок//Изв. РАН, сер.физ. 1996. т. 60, № 2. с. 32-37.
- Tretyakov V., Kazakov S., Bobyl' A. and Konnikov S. Study of Thin Films of High Temperature Seperconductors Based on YBaCuO by EPMA//Microhim Acta. 2000. N 1. P. 1-11.
- Усиков А.С., Третьяков В.В., Лундин В.В., Задиранов Ю.М., Пушной Б.В., Конников С.Г. Исследование методом микрокатодолюминесценции ростовых особенностей эпитаксиальных GaN слоев на сапфире//Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25, № 7. С. 9-17.
