Конструкция теплового узла ростовой установки
Автор: Арчугов Сергей Александрович, Винник Денис Александрович, Михайлов Геннадий Георгиевич
Журнал: Вестник Южно-Уральского государственного университета. Серия: Металлургия @vestnik-susu-metallurgy
Статья в выпуске: 36 (253), 2011 года.
Бесплатный доступ
Приведены результаты работ по проектированию и изготовлению теплового узла для резистивной ростовой установки для выращивания на воздухе при температуре до 1300 °С методом Степанова. При конструировании представленного элемента ростового оборудования были учтены все требования, предъявляемые к высокотемпературному оборудованию. Конструкция теплового узла показала свою работоспособность, а именно: обеспечение равномерности температурного поля, возможность с высокой точностью задавать температурный градиент, долговременная работа ростовой системы.
Монокристаллы, выращивание монокристаллов, тепловой узел ростовой установки
Короткий адрес: https://sciup.org/147156682
IDR: 147156682
