Контроль пространственного распределения оптического излучения, рассеянного дифракционной структурой
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Дифракционная оптика, оптические технологии
Статья в выпуске: 5 т.39, 2015 года.
Бесплатный доступ
Представлены результаты разработки и исследования метода и устройства для оперативного контроля пространственного распределения интенсивности дифракционных порядков в телесном угле дифракции до ±80° и 360° по азимуту как на проход, так и на отражение. Разработанное устройство предназначено для контроля формы и глубины микрорельефа дифракционных оптических элементов в процессе производства.
Похожие статьи в разделе Электротехника
Короткий адрес: https://sciup.org/14059410
IDS: 14059410 | DOI: 10.18287/0134-2452-2015-39-5-678-686
Monitoring a spatial intensity distribution of transmitted and reflected light in a diffractive structure
We propose a method and a design of a device for an on-line monitoring of a spatial intensity distribution of transmitted and reflected diffraction orders found within a ±80° solid angle and a 360° azimuthal angle. The proposed device is intended to serve as a shape and depth profiler of the diffractive element microrelief in the course of manufacturing.
Список литературы Контроль пространственного распределения оптического излучения, рассеянного дифракционной структурой
- Методы компьютерной оптики/А.В. Волков, Д.Л. Головашкин, Л.Д. Досколович, Н.Л. Казанский, В.В. Котляр, В.С. Павельев, Р.В. Скиданов, В.А. Сойфер, В.С. Соловьев, Г.В. Успленьев, С.И. Харитонов, С.Н. Хонина; под ред. В.А. Сойфера. -изд. 2-е, испр. -М.: Физматлит, 2003. -688 с.
- Волков, А.В. Контроль параметров микрорельефа ДОЭ с использованием тестовых дифракционных структур/А.В. Волков//Вестник Самарского государственного технического университета. Серия Физико-математические науки. -2001. -№ 12. -С. 179-185. -ISSN 1991-8615.
- Golub, M.A. Optical performance evaluation from microrlief profile scans of diffractive optical elements/M.A. Golub//International meeting: Diffractive Optics and Micro-Optics, DOMO 2000. -2000. -Vol. 1. -P. 110-112.
- Кирьянов, В.П. Измерение эффективности дифракционных оптических элементов методом сканирования/В.П. Кирьянов, В.Г. Никитин//Автометрия. -2004. -Т. 40, № 5. -C. 82-93. -ISSN 0320-7102.
- Белоусов, Д.А. Прибор для измерения дифракционной эффективности в широком динамическом диапазоне/Д.А. Белоусов в сб.: Материалы всероссийской научной конференции молодых учёных "Наука. Технологии. Инновации" -Ч.1. -Новосибирск: изд-во НГТУ, 2014. -С. 15-19.
- Котляр, В.В. Измерение орбитального углового момента светового поля с помощью дифракционного оптического элемента/В.В. Котляр, С.Н. Хонина, В.А Сойфер, Я. Янг//Автометрия. -2002. -Т. 38, № 3. -C. 33-44. -ISSN 0320-7102.
- Cai, W. Diffractive optics calibrator measurement of etching variations for binary computer-generated-holograms/W. Cai, P. Zhou, C. Zhao, J. H. Burge//Applied Optics. -2014. -№ 53. -P. 2477-2486. -ISSN 1539-4522.
- Хомутов, В.Н. Измерение дифракционной эффективности ДОЭ по многим порядкам дифракции/В.Н. Хомутов, А.Г. Полещук, В.В. Черкашин//Компьютерная оптика. -2011. -Т. 35, № 2. -С. 196-202. -ISSN 0134-2452.
- Борн, М. Основы оптики/М. Борн, Э. Вольф; пер. с англ. -М.: Наука, 1973. -720 с. (M. Born, E. Volf. Principles of optics. -N.Y.: Pergamon press. Publishers, 1968.)
- Полещук, А.Г. Дифракционные оптические элементы для управления параметрами лазерного излучения и прецизионного контроля формы асферических поверхностей/А.Г. Полещук, В.П. Корольков, Р.К. Насыров//Интерэкспо ГЕО-Сибирь-2015. XI международный научный конгресс и выставка (Новосибирск, 20-22 апр. 2014 г.): Международная научная конференция «СибОптика-2015»: сб. матер. в 5 т. -2015. -Вып. 2, Т. 2. -С. 232-238.
- Абросимов, С.А. Измеритель шероховатости поверхности в диапазоне 1-25 нм по индикатрисе рассеянного света/С.А. Абросимов, М.В. Высогорец, А.А. Малютин, А.В. Ненашев, Р.В. Серов//Квантовая электроника. -1994. -Т. 21, №1 -С. 78-80.
- Барышников, Н.В. Анализ методов измерения шероховатости поверхности и экспериментальное исследование диффузного рассеяния на базе рефлектометрического метода/Н.В. Барышников, Д.Г. Денисов, И.В. Животовский, А.Ю. Каплин//Молодёжный научно-технический вестник -М: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2012. -№1. -С. 30-41.
