Критерии выбора оптимальной точки при решении некорректной обратной задачи эллипсометрии для сверхтонких поверхностных пленок
Автор: Бобро В.В., Семененко А.И.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Оригинальные статьи
Статья в выпуске: 2 т.11, 2001 года.
Бесплатный доступ
Проводится анализ некорректной обратной задачи эллипсометрии. Описаны проявления некорректности обратной задачи при исследовании сверхтонких поверхностных пленок. Особое внимание уделено критериям выбора оптимальной точки. Показано, что очевидный и часто используемый критерий, связанный с условием на функционал невязки S0 ≤ δ 2, где δ - средняя ошибка в измерении поляризационных углов, для рассматриваемой модели в области некорректности практически не пригоден. В связи с этим предложены новые критерии выбора оптимальной точки. В результате получено устойчивое решение обратной задачи эллипсометрии, что позволяет успешно исследовать поверхностные пленки толщиной от 2 до 10 нм.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264179
IDR: 14264179
Список литературы Критерии выбора оптимальной точки при решении некорректной обратной задачи эллипсометрии для сверхтонких поверхностных пленок
- Бобро В.В., Семененко А.И. О характере математической некорректности обратной задачи эллипсометрии для сверхтонких поверхностных пленок//Научное приборостроение. 2000. т. 10, № 4. С. 57-63.
- Box M.J. A new method of constrained optimization and a comparison with other methods//Comp. Joum. 1965. V. 8. P. 42-51.
- Тихонов А.Н., Арсенин В.Я. Методы решения некорректных задач. М.: Наука, 1979. 185 с.
- Бобро В.В., Мардежов А.С., Семененко А.И. Обратная задача эллипсометрии для сверхтонких поверхностных пленок//Автометрия. 1997. № 1. С. 50-52.
- Семененко А.И., Бобро В.В., Мардежов А.С. О решении обратной задачи эллипсометрии//Автометрия. 1998. № 1. С. 56-60.
- Bobro V.V., Mardezhov A.S., Semenenko A.I. On the solution of incorrect inverse ellipsometric problem//Proc. SPIE. 1998. V. 3485. P. 354-358.
