Линейные перемещения с микронной и субмикронной точностью
Автор: Штых Дмитрий Владимирович
Журнал: Известия Самарского научного центра Российской академии наук @izvestiya-ssc
Рубрика: Конверсионные, НАНО- и инновационные технологии
Статья в выпуске: 1-2 т.14, 2012 года.
Бесплатный доступ
Рассмотрены сферы применения приводов точных линейных перемещений, определены характерные комплексы требований к параметрам движений выходного звена. Проведен системный анализ возможностей повышения технических характеристик линейных актуаторов, сделан вывод о перспективности применения электромеханических мехатронных модулей (для позиционирования с точностью порядка 1 нм и непрерывного перемещения с кинематической точностью порядка 1 мкм).
Линейное перемещение, точность
Короткий адрес: https://sciup.org/148200668
IDR: 148200668
Список литературы Линейные перемещения с микронной и субмикронной точностью
- Козырев, В.В. Конструкции роликовинтовых передач и методика их проектирования. -Владимир: Редакционно-издательский комплекс ВлГУ, 2004. 102 с.
- Жданов, А.В. Исследование показателей качества движения приводов линейных микроперемещений/А.В. Жданов, Д.В. Штых//Научно-технический вестник Поволжья. -Казань. 2012. №1. С.170-173.
- http://www.servotechnica.ru/catalog/type/brand/index.pl?id=18
- http://www.delcam-ural.ru/cai/lazernyy_interferometr_9
- http://www.heidenhain.ru/
