Масс-спектрометрический анализ химического взаимодействия монооксида углерода с монокристаллической поверхностью кремния

Методом масс-спектрометрии проведено прямое (in situ) исследование химического взаимодействия газообразного монооксида углерода (CO) с поверхностью монокристаллической кремниевой подложки. Цель данной работы — определение присутствия в газовой фазе малых количеств молекул монооксида кремния (SiO), которые являются продуктом химической реакции взаимодействия газа CO с поверхностью кремниевой подложки. Молекула SiO является маркером реакции получения эпитаксиальной пленки карбида кремния на кремнии методом согласованного замещения атомов и имеет такое же массовое число, как CO2. Для однозначного определения вклада молекул CO2 на спектр было проведено исследование разложения газа CO2 в CO при типичных условиях процесса. Определено, что при температурах выше 950 °C наличие молекул CO2 в реакторе минимально, что подтверждает преобладание молекулы SiO в масс-спектрах, экспериментально подтверждая теоретические положения метода.