Метод формирования дифракционного микрорельефа на основе послойного наращивания фоторезиста
Автор: Волков А.В., Казанский Н.Л., Моисеев О.Ю., Сойфер В.А.
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Дифракционная оптика, оптические технологии
Статья в выпуске: 16, 1996 года.
Бесплатный доступ
Короткий адрес: https://sciup.org/14058318
IDR: 14058318
Статья
