Методика расчета одноосевого микро-опто-электро-механического преобразователя угловых скоростей
Автор: Бусурин Владимир Игоревич, Фам Ань Туан, Коробков Вадим Владимирович, Медведев Владимир Михайлович, Жеглов Максим Александрович
Рубрика: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы
Статья в выпуске: 2 т.18, 2018 года.
Бесплатный доступ
Предложена методика расчета одноосевого микро-опто-электро-механического (МОЭМ) преобразователя угловых скоростей, построенного на основе оптического туннельного эффекта (ОТЭ). Разработан алгоритм и программное обеспечение, позволяющие производить расчет основных параметров МОЭМ-преобразователя при обеспечении заданных технических требований.
Моэм, угловая скорость, преобразователь, методика, характеристики, оптический туннельный эффект
Короткий адрес: https://sciup.org/147155269
IDR: 147155269 | DOI: 10.14529/ctcr180209
Список литературы Методика расчета одноосевого микро-опто-электро-механического преобразователя угловых скоростей
- Kostsov, E.G. State and Prospects of Micro-and Nanoelectromechanics/E.G. Kostsov//Optoelectron., Instrum. Data Process. -2009. -Vol. 45 (3). -P. 189-226.
- Дмитриев, С.А. Волоконно-оптическая техника: современное состояние и новые перспективы/С.А. Дмитриев, Н.Н. Слепов. -М.: Техносфера, 2010. -608 с.
- Jacopo, I. Reliability of MEMS: A perspective on failure mechanisms, improvement solutions and best practices at development level/I. Jacopo//Displays. -2015. -Vol. 37. -P. 62-71 DOI: 10.1016/j.displa.2014.08.003
- Ghodssi, R. MEMS materials and processes handbook/R. Ghodssi, P. Lin. -Springer, USA, 2011. -1188 p DOI: 10.1007/978-0-387-47318-5
- Трехосевой микро-опто-электро-механический преобразователь угловых скоростей на основе оптического туннельного эффекта/В.И. Бусурин, А.Т. Фам, М.А. Жеглов, В.М. Медведев//Автометрия. -2017. -Т. 53, № 6. -С. 33-41 DOI: 10.15372/aut20170604
- Шарапов, В.М. Пьезоэлектрические датчики/В.М. Шарапов, М.П. Мусиенко, Е.В. Шарапова. -М.: Техносфера, 2006. -632 с.
- Якушенко, Ю.Г. Теория и расчет оптико-электронных приборов/Ю.Г. Якушенко. -М.: Машиностроение, 1989. -360 с.
- Grattan, K.T.V. Fiber optic sensor technology: an overview/K.T.V. Grattan, T. Sun//Sensors and Actuators A: Physical. -2000. -Vol. 82, iss. 1-3. -P. 40-61 DOI: 10.1007/978-1-4757-6081-1_1
- Бусурин, В.И. Волоконно-оптические датчики: Физические основы, вопросы расчета и применения/В.И. Бусурин, Ю.Р. Носов. -М.: Энергоавтомиздат, 1990. -256 с.
- Борн, М. Основы оптики: пер. c англ./М. Борн, Э. Вольф. -М.: Наука, 1983. -721 с.
- Удд, Э. Волоконно-оптические датчики: пер. c англ./Э. Удд. -М.: Техносфера, 2008. -520 с.
- Busurin, V.I. Micro-opto-elctro-mechanical angular velocity transducer based on the optical tunneling effect/V.I. Busurin, А.Т. Pham//Optoelectron., Instrum. Data Process. -2016. -Vol. 52 (2). -P. 210-215 DOI: 10.3103/s8756699016020151
- Бусурин, В.И. Волоконно-оптические информационно-измерительные системы/В.И. Бусурин, Б.Г. Горшков, В.В. Коробков. -М.: МАИ, 2012. -168 с.
- Распопов, В.Я. Микромеханические приборы/В.Я. Распопов. -М.: Машиностроение, 2007. -400 с.
- Тимошенко, С.П. Колебания в инженерном деле: пер. c англ./С.П. Тимошенко. -М.: КомКнига, 2007. -440 с.
- Liu, C. Foundations of MEMS/C. Liu. -2nd edition. -Prentice Hall, USA, 2011. -576 p.
- Bose, A. Modern inertial sensors and systems/A. Bose, K.N. Bhat, P. Banerjee. -Prentice-Hall of India Pvt. Ltd, 2014. -425 p.
- Jeroen, D.H. Modeling and calibration of inertial and vision sensors/D.H. Jeroen, B.S. Thomas, G. Fredrik//The International Journal of Robotics Research. -2010. -Vol. 29, iss. 2-3. -P. 231-244 DOI: 10.1177/0278364909356812
