Микропрессование порошковых магнитных материалов для МЭМС
Автор: Тимошков Ю.В., Грапов Д.В., Курмашев В.И.
Журнал: Мировая наука @science-j
Рубрика: Основной раздел
Статья в выпуске: 12 (93), 2024 года.
Бесплатный доступ
Исследован процесс создания элементов магнитных МЭМС путем микропрессования порошков композиционных магнитных материалов. В качестве материалов для формирования элементов МЭМС использованы материалы Hoganas ABC100.30 (Sweden), FeNbB (Jiangxi Dayou Technology, China), а также карбонильное железо (ООО «Синтез-ПКЖ», Россия). На основе данных порошков и их композиции изготовлены детали с различным аспектным соотношением и исследованы их структурные свойства.
Микроэлектромеханическая система, композиционные магнитные материалы, микропрессование
Короткий адрес: https://sciup.org/140308804
IDR: 140308804 | DOI: 10.5281/zenodo.14615787
Список литературы Микропрессование порошковых магнитных материалов для МЭМС
- Ghodssi R., Lin P. (ed.). MEMS materials and processes handbook. - Springer Science & Business Media, 2011. - Т. 1.
- Angelo P. C., Subramanian R., Ravisankar B. Powder metallurgy: science, technology and applications. - PHI Learning Pvt. Ltd., 2022.
- Gibbs M. R. J., Hill E. W., Wright P. J. Magnetic materials for MEMS applications //Journal of Physics D: Applied Physics. - 2004. - Т. 37. - №. 22. - С. R237. EDN: LSVKSL
- Niarchos D. Magnetic MEMS: key issues and some applications //Sensors and Actuators A: Physical. - 2003. - Т. 109. - №. 1-2. - С. 166-173. EDN: ETGNKZ
- Schoppa A., Delarbre P. Soft magnetic powder composites and potential applications in modern electric machines and devices //IEEE Transactions on Magnetics. - 2014. - Т. 50. - №. 4. - С. 1-4.
- Tumanski S. Handbook of magnetic measurements. - CRC press, 2016. EDN: ZPRPOV
- Демиденко О. Ф. и др. Применение композиционных материалов на основе порошков железа для изготовления компонентов статора и ротора обратимой электрической машины // ПРИКЛАДНЫЕ ПРОБЛЕМЫ СОВРЕМЕННОЙ ФИЗИКИ FUNDAMENTAL AND APPLIED PROBLEMS OF MODERN PHYSICS. - 2023. - С. 110.
- Pentella M. Characterization of magnetic materials at extreme ranges of field, temperature, and permeability. - 2022.
- Skorvanek I. et al. Influence of microstructure on the magnetic and mechanical behaviour of amorphous and nanocrystalline FeNbB alloy //Journal of Physics: Condensed Matter. - 2002. - Т. 14. - №. 18. - С. 4717. EDN: AYZCRL
