Моделирование методом Монте-Карло образования вторичных электронов в кристаллическом кремнии
Автор: Кузнецова Е.В.
Журнал: Труды Московского физико-технического института @trudy-mipt
Рубрика: Физика
Статья в выпуске: 1 (37) т.10, 2018 года.
Бесплатный доступ
Рассматривается процесс генерации вторичных электронов при взаимодействии пучка электронов с кремниевой подложкой. Для описания движения электронов в ве- ществе предложена модель, эффективно учитывающая общие ионизационные потери кинетической энергии и рассеяние на атомах кристаллической решётки, приводящее к отклонению от первоначального направления движения. В рамках этой модели мето- дом Монте-Карло построены случайные траектории первичных и вторичных электро- нов. Расчёты произведены для начальной энергии электронов пучка в диапазоне от 5 до 50 кэВ.
Моделирование методом монте-карло, электронно-лучевая литография, монокристаллический кремний, функция поглощенной энергии
Короткий адрес: https://sciup.org/142215017
IDR: 142215017
Список литературы Моделирование методом Монте-Карло образования вторичных электронов в кристаллическом кремнии
- Figueiro T. . Advanced module for model parameter extraction using global optimization and sensitivity analysis for electron beam proximity effect correction//Photomask Technology. 2012. V. 8522. P. 852212.
- Figueiro T., Saiba M., Tortaib J.H., Schiavonea P. PSF calibration patterns selection based on sensitivity analysis//Microelectron. Eng. 2013. V. 112. P. 282-286.
- Murata K., Matsukawa T., Shimizu R. Monte Carlo calculations on electron scattering in a solid target//Jpn. J. Appl. Phys. 1971. V. 10. P. 678-686.
- Aydin A., Peker A. Monte Carlo study of medium-energy electron penetration in aluminium and silver//Nukleonika. 2015. V. 60, N 2. P. 361-366.
- Murata K., Kyser D.F., Ting C.H. Monte Carlo simulation of fast secondary electron production in electron beam resists//J. Appl. Phys. 1981. V. 52. P. 4396-4405.
- Moliere G. Theorie der streuung schneller geladener teilchen i. einzelstreuung am abgeschirmten coulomb-feld//Zeitschrift fuer Naturforschung A. 1947. V. 2, N 3. P. 133-145.
- Nigam B.P., Sundaresan M. K., Wu T.Y. Theory of multiple scattering: second Born approximation and corrections to Moliere’s work//Phys. Rev. 1959. V. 115, N 3. P. 491.
- Joy D.C. Monte Carlo modeling for electron microscopy and microanalysis. Oxford: University Press, 1995. V. 9.
- Kyriakou I., Emfietzoglou D., Nojeh A., Moscovitch M. Monte Carlo study of electron-beam penetration and backscattering in multi-walled carbon nanotube materials: The effect of different scattering models//J. Appl. Phys. 2013. V. 113, N 8. P. 084303.
- Møller C. U¨ ber den Stross zweier Teilchen unter Beruchsichtigung der Retardation der Krafte//Zeitschrift fu¨r Physik. 1931. V. 70. P. 786-795.
- Gryzinski M. Two-particle collisions. I. General relations for collisions in the laboratory system//Phys. Rev. 1965. V. 138, N 2A. P. A305.
- Liljequist D. A simple calculation of inelastic mean free path and stopping power for 50 eV-50 keV electrons in solids//J. Phys. D: Appl. Phys. 1983. V. 16, N 8. P. 1567.
- Chung M.S., Everhart T.E. Simple сalculation of energy distribution of low-energy secondary electrons emitted from metals under electron bombardment//J. Appl. Phys. 1974. V. 45. P. 707-709.
- Massey H. S. W. Electron scattering in solids//Adv. Electron. Electron Phys. 1952. V. 4. P. 1-68.
- Kyriakou I., Emfietzoglou D., Nojeh A., Moscovitch M. Monte Carlo study of electron-beam penetration and backscattering in multi-walled carbon nanotube materials: The effect of different scattering models//J. Appl. Phys. 2013. V. 113. P. 084303.
- Dapor M. A Monte Carlo investigation of secondary electron emission from solid targets: Spherical symmetry versus momentum conservation within the classical binary collision model//Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B. 2009. V. 267. P. 3055-3058.
