Моделирование процесса роста тонких пленок

Автор: Ананьев А.В., Архипов А.В.

Журнал: Теория и практика современной науки @modern-j

Рубрика: Основной раздел

Статья в выпуске: 7 (13), 2016 года.

Бесплатный доступ

В статье проведён анализ возможных вариантов компьютерного моделирования. Рассмотрен термодинамический метод, приведены основные параметры рассматриваемых систем, термодинамические функции и выполнена их аппроксимация для последующего использования в программах моделирования.

Компьютерное моделирование, термодинамический метод, метод молекулярной динамики, методы клеточных автоматов, энтропия

Короткий адрес: https://sciup.org/140269575

IDR: 140269575

Список литературы Моделирование процесса роста тонких пленок

  • Зверев А.В. Моделирование роста атомно-тонких пленок на подложках со сложной морфологией. -Новосибирск: Томский государственный университет, 2007. -154 с.
  • Экштайн В. Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твердого тела. Пер. с англ. под редакцией Васильева К.Н. М.: Изд. «Мир». 1995. -321 с.
  • Фейнман Р., Лейтон Р., Сэнде М. Фейнмановские лекции по физике: Вып. 8,9: Квантовая механика. Пер. с английского под ред. Смородинского Я.А. -М.: Изд. «ЛКИ». 2008, -528 с.
  • Алемасов, В.Е. Термодинамические и теплофизические свойства продуктов сгорания. Т.1. Методы расчета/В.Е. Алемасов, А.Ф. Дрегалин, А.П. Тишин и др.; М.: Изд-во АН СССР, 1971. 266 с.
  • Пупышев А.А. Термодинамическое моделирование термохимических процессов в спектральных источниках. -Екатеринбург: ГОУ ВПО УГТУ-УПИ, 2007. -85 с.
  • Термодинамические свойства индивидуальных веществ. Справочное издание: в 4-х т./Л.В. Гурвич, И.В. Вейц, В.А. Медведев и др. 3-е изд., Т.1. Кн. 2 М.: Наука, 1978. 328 с.
  • Белов Г.В., Трусов Б.Г. Термодинамическое моделирование химически реагирующих систем. -М.:МГТУ имени Н.Э. Баумана, 2013. 96 с
  • Девяткин П.Н. Современные возможности определения равновесного состава многокомпонентных химических систем. -Вестник МГТУ, том 13, №4/2, 2010 г. стр.899-901
Еще
Статья научная