Моделирование спиральных нанопленок с пьезоэлектрическими свойствами в программном комплексе Simulia ABAQUS

Автор: Гирченко Анна Александровна, Еремеев Виктор Анатольевич

Журнал: Вестник Пермского национального исследовательского политехнического университета. Механика @vestnik-pnrpu-mechanics

Статья в выпуске: 17, 2009 года.

Бесплатный доступ

В современной технике широко используются многослойные пленки из полупроводниковых и пьезоэлектрических материалов. В частности, эти пленки применяются в различных микро- и наноэлектромеханических системах (MEMS и NEMS). Особым типом таких пленок являются спиральные структуры. Они используются как элементы датчиков и исполнительных механизмов. Особый интерес представляет анализ многослойного пьезоэлектрического слоя. С другой стороны, интерес к спиральным структурам связан с возможностью определения упругих свойств таких нанопленок с использованием методики экспериментального измерения собственных частот. Мы представляем анализ FEM двухслойной спиральной структуры GaAs, InGaAs и PZT-5H. Проводится модальный анализ. Моделирование выполняется с использованием пакета FEM Simulia ABAQUS

Еще

Спиральные нанопленки с пьезоэлектрическими свойствами, численное моделирование, программный комплекс simulia abaqus, модальный анализ пленки

Короткий адрес: https://sciup.org/146211842

IDR: 146211842

Статья научная