Моделирование спиральных нанопленок с пьезоэлектрическими свойствами в программном комплексе Simulia ABAQUS

В современной технике широко используются многослойные пленки из полупроводниковых и пьезоэлектрических материалов. В частности, эти пленки применяются в различных микро- и наноэлектромеханических системах (MEMS и NEMS). Особым типом таких пленок являются спиральные структуры. Они используются как элементы датчиков и исполнительных механизмов. Особый интерес представляет анализ многослойного пьезоэлектрического слоя. С другой стороны, интерес к спиральным структурам связан с возможностью определения упругих свойств таких нанопленок с использованием методики экспериментального измерения собственных частот. Мы представляем анализ FEM двухслойной спиральной структуры GaAs, InGaAs и PZT-5H. Проводится модальный анализ. Моделирование выполняется с использованием пакета FEM Simulia ABAQUS