Моделирование влияния клина травления на фокусировку излучения цилиндрическими микролинзами с высокой числовой апертурой
Автор: Головашкин Д.Л., Кашайкина Е.Н., Орехова Ю.А.
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Дифракционная оптика, оптические технологии
Статья в выпуске: 1 т.32, 2008 года.
Бесплатный доступ
Работа посвящена исследованию влияния клина травления на фокусировку излучения дифракционными микролинзами с апертурой 16 длин волн и числовой апертурой 0,71. Рассматриваются случаи клина травления, характерные для жидкостной химической и плазменно-химической технологий.
Короткий адрес: https://sciup.org/14058791
IDR: 14058791
Статья научная
