Нанопористые материалы на основе оксида алюминия: механизм образования и технология получения
Автор: Степанова Анастасия Юрьевна, Запороцкова Ирина Владимировна, Белов Алексей Николаевич
Журнал: НБИ технологии @nbi-technologies
Рубрика: Технические инновации
Статья в выпуске: 5, 2011 года.
Бесплатный доступ
В работе рассмотрены механизмы зарождения и роста упорядоченного массива нанопор на поверхности алюминия при анодировании. Модернизирована технология получения нанопористого оксида алюминия и определены оптимальные условия проведения электрохимического осаждения, приводящие к получению поверхности плотноупакованных хорошо организованных пор анодного оксида. Выполненные исследования топологии поверхности позволили визуализировать полученную структуру и определить характерные размеры пор.
Нанопоры, анодирование, барьерная оксидная пленка, критическая плотность тока
Короткий адрес: https://sciup.org/14968180
IDR: 14968180
Список литературы Нанопористые материалы на основе оксида алюминия: механизм образования и технология получения
- Гаврилов, С. А. Электрохимические процессы в технологии микро-и наноэлектроники/С. А. Гаврилов, А. Н. Белов. -М.: Высш. образование, 2008. -257 с.
- Jinsub, Choi. Fabrication of Monodomain Porous Alumina using Nanoimprint Lithography and its Applications: Doctoral dissertation/Jinsub Choi; Martin Luther University. -Halle-Wittenberg, Germany, 2004.
