Научно-техническая литература. Наноматериалы и нанотехнологии

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

Е.В. Берлин, Л.А. Сейдман ta 6е<м«. ЛЛ Ce*ww

ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПРОЦЕССЫ В ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ ТЕХНОЛОГИИ

Настоящая книга (544 стр., 2010 г.) представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии – реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Издание содержит подробное описание магнетронных напылительных и плазмохимических установок для травления тонких пленок. В нем рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. В книге описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок.

Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Материалы и методы нанотехнологии

В.В. Старостин

В книге (431 стр., 2008 г.) даются основные понятия о нанотехнологии и нанообъектах, приводятся сведения о характерных особенностях и свойствах наночастиц. Рассматриваются функциональные и кон-

В. В. Старостин

МАТЕРИАЛЫ И МЕТОДЫ НАНОТЕХНОЛОГИИ

струкционные материалы (фуллерены, углеродные нанотрубки, ленгмюровские молекулярные пленки) и их применение. Значительное внимание уделяется методам получения наночастиц и упорядоченных наноструктур, приводятся результаты искусственного наноформообразования, описаны методы зондовой нанотехнологии, пучковые и другие новые методы нанолитографии.

Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся по направлению «На- нотехнология».

Механика материалов и структур нано- и микротехники

О.П. Кормилицын, Ю. А. Шукейло

$       ап.кедммицыи

Ю.А.Шух6иЮ

5    МЕХАНИКА i    МАТЕРИАЛОВ

И СТРУКТУР НАНО-И МИНРОТЕХНИКИ

$ i

В книге (224 стр., 2008 г., 1-е изд.) изложены вопросы строения, структуры, а также механических свойств традиционных конструкционных материалов. Рассмотрено влияние различных факторов на свойства материалов. Перечислены возможные способы испытания образцов материалов и даны ссылки на соответствующие стандарты. Значительное внимание уделено вопросам изучения и определения свойств новых перспективных нанокристаллических материалов и конструкций из них. Рассмотрены вопросы описания состояния материалов с точки зрения традиционных подходов, а также линейной механики разрушения, мезомеханики и молекулярной динамики.

Для студентов высших учебных заведений.

Элионная технология в микро- и наноиндустрии

Г.Д. Кузнецов, А.Р. Кушхов, Б.А. Билалов

В учебном пособии (156 стр., 2008 г.) рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков

и низкотемпературной плазмы для микро- и нанораз-мерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и информирование о достижениях в области микро- и наноиндустрии.

Учитывая, что в рассматриваемых процессах основную роль играют электроны и ионы, принято для краткости называть технологию элионной.

Соответствует программе курса «Элионная техно- логия в микро- и наноиндустрии».

Предназначено для подготовки специалистов по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника» и может быть полезно для обучающихся по направлению 210600 «Нанотехнология», 210601 «Нанотехнология в электронике» и по специальности 210602 «Наноматериалы».

Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе

Н.И. Татаренко, В.Ф. Кравченко

АБТОЭМИССИОННЫЕ

НАНОСТРУКТУРЫ

И ПРИБОРЫ

НА ИХ ОСНОВЕ

В книге (192 стр., 2006 г.) дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро-и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссион-ных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и си- стем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики.

Издание предназначено для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники.

С полным перечнем литературы можно ознакомиться на сайте:

Помимо книг, представленных в магазине, Вы можете оставить заявку на интересующие издания, и Вам окажут помощь в их поиске и приобретении.

Контакты / Contact:

e-mail: mail@tbooks.ru