О характере математической некорректности обратной задачи эллипсометрии для сверхтонких поверхностных пленок
Автор: Бобро В.В., Семененко А.И.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Оригинальные статьи
Статья в выпуске: 4 т.10, 2000 года.
Бесплатный доступ
В работе изучен характер математической некорректности обратной задачи эллипсометрии для сверхтонких (менее 10 нанометров) прозрачных поверхностных пленок на однородной подложке. Показано, что математическая некорректность в этом случае обусловлена не только экспериментальными ошибками в измерении поляризационных углов, но также и неадекватным выбором модели отражающей среды, проявляющимся в неточном задании параметров подложки, считающихся известными, и в пренебрежении даже очень тонким (порядка 0.1 нанометра) переходным слоем на границе между пленкой и подложкой. Эти выводы носят не только качественный характер, они подтверждены как реальным, так и численным экспериментом, проведенным с помощью специальной математической программы.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264150
IDR: 14264150
Список литературы О характере математической некорректности обратной задачи эллипсометрии для сверхтонких поверхностных пленок
- Ржанов А. В., Свиташев К. К., Семененко А. И. и др. Основы эллипсометрии. Новосибирск: Наука, 1979. 422 с.
- Бобро В.В., Мардежов А.С., Семененко А.И. Обратная задача эллипсометрии для сверхтонких поверхностных пленок//Автометрия. 1997. № 1. С. 50-52.
- Тихонов А.Н., Арсенин В.Я. Методы решения некорректных задач. М.: Наука, 1979. 185 с.
- Box M.J. A new method of constrained optimization and a comparison with other methods//Comp. Journ. 1965. V8. P. 42-51.
