О некоторых подходах к построению моделей вынужденного движения микроакселерометра

Максимов Петр Викторович; Maksimov P.v

Научные статьи \ Математика. Естественные науки \ Физика \ Строение материи \ Механика деформируемых тел. Упругость. Деформация

О некоторых подходах к построению моделей вынужденного движения микроакселерометра

Максимов Петр Викторович

Журнал: Вестник Пермского национального исследовательского политехнического университета. Механика @vestnik-pnrpu-mechanics

Статья в выпуске: 1, 2011 года.

Бесплатный доступ

Рассмотрен кремниевый микромеханический маятниковый акселерометр. На основе уравнения Лагранжа 2-го рода получены уравнения движения чувствительного элемента, имеющего смещение центра тяжести по трем осям, под действием линейных и угловых ускорений. Приведен закон движения маятника ММА с учетом влияния электростатических сил, действующих на чувствительный элемент акселерометра в процессе его движения. Представлена связанная электромеханическая математическая модель датчика, рассмотренного в виде трехмерного деформируемого твердого тела.

микромеханика \ mems (микроэлектромеханическая система) \ микроакселерометр \ вынужденное движение \ связанные задачи \ теория упругости \ электростатика

Похожие статьи в разделе Механика деформируемых тел. Упругость. Деформация

Определение навигационных параметров с помощью первичных преобразователей на основе бесконтактного подвеса

Богословский С.В.

Электрические схемы емкостных датчиков микромеханического гироскопа RR-типа

Некрасов Я.А., Беляева Т.А., Беляев Я.В., Багаева С.В.

Акселерометр с беспроводным управлением

Фартух А.В., Якимец А.Л.

Исследование деформирования чувствительного элемента микроакселерометра с учетом влияния электростатических и температурных воздействий

Максимов Петр Викторович, Банников Руслан Юрьевич

Аналитическое решение связанной задачи об отыскании поля перемещений чувствительного элемента акселерометра с учетом влияния электростатических сил

Мирзина Наталья Александровна, Максимов Петр Викторович

Исследование влияния структуры подвеса инерционной массы стеклянного микромеханического акселерометра на его характеристики

Марина Александровна Барулина, Алексей Викторович Голиков, Елена Владимировна Панкратова, Ольга Викторовна Маркелова

Короткий адрес: https://sciup.org/146211366

IDS: 146211366 | УДК: 539.3

Models of forced motion of micro accelerometer

The MEMS-accelerometer is described in the article. The motion equations are obtained for this device. The law of motion of pendulum taking into account the influence of electrostatic forces is showed. At the article the coupled electro-mechanical 3D-model of accelerometer is demonstrated.