О некоторых подходах к построению моделей вынужденного движения микроакселерометра
Автор: Максимов Петр Викторович
Статья в выпуске: 1, 2011 года.
Бесплатный доступ
Рассмотрен кремниевый микромеханический маятниковый акселерометр. На основе уравнения Лагранжа 2-го рода получены уравнения движения чувствительного элемента, имеющего смещение центра тяжести по трем осям, под действием линейных и угловых ускорений. Приведен закон движения маятника ММА с учетом влияния электростатических сил, действующих на чувствительный элемент акселерометра в процессе его движения. Представлена связанная электромеханическая математическая модель датчика, рассмотренного в виде трехмерного деформируемого твердого тела.
Микромеханика, mems (микроэлектромеханическая система), микроакселерометр, вынужденное движение, связанные задачи, теория упругости, электростатика
Короткий адрес: https://sciup.org/146211366
IDR: 146211366 | УДК: 539.3
Models of forced motion of micro accelerometer
The MEMS-accelerometer is described in the article. The motion equations are obtained for this device. The law of motion of pendulum taking into account the influence of electrostatic forces is showed. At the article the coupled electro-mechanical 3D-model of accelerometer is demonstrated.
