О некоторых подходах к построению моделей вынужденного движения микроакселерометра
Автор: Максимов Петр Викторович
Статья в выпуске: 1, 2011 года.
Бесплатный доступ
Рассмотрен кремниевый микромеханический маятниковый акселерометр. На основе уравнения Лагранжа 2-го рода получены уравнения движения чувствительного элемента, имеющего смещение центра тяжести по трем осям, под действием линейных и угловых ускорений. Приведен закон движения маятника ММА с учетом влияния электростатических сил, действующих на чувствительный элемент акселерометра в процессе его движения. Представлена связанная электромеханическая математическая модель датчика, рассмотренного в виде трехмерного деформируемого твердого тела.
Микромеханика, mems (микроэлектромеханическая система), микроакселерометр, вынужденное движение, связанные задачи, теория упругости, электростатика
Короткий адрес: https://sciup.org/146211366
IDR: 146211366
